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龙图腾网恭喜磐柔(厦门)工业智能有限公司申请的专利一种基于色彩差影模型的晶圆缺陷检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114463314B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210126904.3，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种基于色彩差影模型的晶圆缺陷检测方法及系统是由吴晓敏;刘暾东;苏永彬设计研发完成，并于2022-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于色彩差影模型的晶圆缺陷检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于色彩差影模型的晶圆缺陷检测方法及系统，获取待检测晶圆对应的晶圆图像，并按照晶粒位置对晶圆图像进行分割。对于每一晶粒图像，将晶粒图像与模板图像进行滑动匹配，计算每一匹配位置对应的协方差，并以协方差最小的匹配位置作为最佳匹配位置，计算最佳匹配位置下晶粒图像和模板图像的所有对应像素点的像素值差值，根据所有像素值差值计算均方根误差，并根据均方根误差确定晶粒图像对应的晶粒是否存在缺陷，进而能够确定待检测晶圆所包括的所有晶粒是否存在缺陷，以确定待检测晶圆是否存在缺陷，通过与模板图像匹配的方式来确定晶粒图像是否存在缺陷，能够在提高检测效率的同时降低误检率。

本发明授权一种基于色彩差影模型的晶圆缺陷检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于色彩差影模型的晶圆缺陷检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：获取待检测晶圆对应的晶圆图像，并按照晶粒位置对所述晶圆图像进行分割，得到所述待检测晶圆所包括的每一晶粒对应的晶粒图像；对于每一所述晶粒图像，将所述晶粒图像与模板图像进行滑动匹配，计算每一匹配位置对应的协方差，并以所述协方差最小的匹配位置作为最佳匹配位置；计算所述最佳匹配位置下所述晶粒图像和所述模板图像的所有对应像素点的像素值差值；根据所有所述像素值差值计算均方根误差，并根据所述均方根误差确定所述晶粒图像对应的晶粒是否存在缺陷；在将所述晶粒图像与模板图像进行滑动匹配之前，所述检测方法还包括生成模板图像，具体包括：获取多组备选图集；每一组所述备选图集均包括两张无缺陷图像；所述无缺陷图像为无缺陷晶粒对应的图像；对于每一组所述备选图集，根据所述备选图集所包括的两张无缺陷图像的像素值绘制所述备选图集对应的像素值分布图；利用高斯分布对所述像素值分布图进行拟合，得到极大似然函数；以令所述极大似然函数最大为目标，利用极大似然估计法对目标函数进行求解，得到所述备选图集对应的最优均值矩阵和最优协方差矩阵；根据所有所述备选图集对应的最优均值矩阵和最优协方差矩阵确定最优高斯分布函数；根据所述最优高斯分布函数生成模板图像。

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