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龙图腾网恭喜长鑫存储技术有限公司申请的专利一种投片计划仿真方法、设备及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114239440B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210012710.0，技术领域涉及：G06F30/30；该发明授权一种投片计划仿真方法、设备及系统是由王晓;宁泽宇;朱志翔设计研发完成，并于2022-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种投片计划仿真方法、设备及系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种投片计划仿真方法、设备及系统。其中，投片计划仿真方法包括：获取待仿真的晶圆投片计划的投产信息；根据所述投产信息和在制品信息，得到晶圆生产信息；若监测到系统运行时间达到所述晶圆生产信息中任一所述计划投片时间，则将所述晶圆生产信息中与所述任一所述计划投片时间相对应的目标未投产批次的状态信息修改为所述空闲状态，以及根据接收到与所述目标未投产批次对应的生产指令，将所述目标未投产批次的所述状态信息由所述空闲状态修改为所述生产状态。该方法可以对投片计划进行模拟，能够防止投片计划直接应用到生产线而出现不可预知的风险，持续稳定地提升整体生产效率。

本发明授权一种投片计划仿真方法、设备及系统在权利要求书中公布了：1.一种投片计划仿真方法，其特征在于，包括：获取待仿真的晶圆投片计划的投产信息；所述投产信息包括多个未投产批次的第一生产材料信息和与所述第一生产材料信息对应的计划投片时间；根据所述投产信息和在制品信息，得到晶圆生产信息；所述在制品信息包括多个已投产批次的第二生产材料信息；所述晶圆生产信息包括所述第一生产材料信息、所述计划投片时间、所述未投产批次的状态信息、所述第二生产材料信息、所述已投产批次的状态信息；所述未投产批次的状态信息为待转产状态；所述未投产批次的状态信息为空闲状态或生产状态；若监测到系统运行时间达到所述晶圆生产信息中任一所述计划投片时间，则将所述晶圆生产信息中与所述任一所述计划投片时间相对应的目标未投产批次的状态信息修改为所述空闲状态，以及根据接收到与所述目标未投产批次对应的生产指令，将所述目标未投产批次的所述状态信息由所述空闲状态修改为所述生产状态；所述生产指令为所述目标未投产批次满足排产规则时触发的。

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