恭喜重庆邮电大学陈伟中获国家专利权
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龙图腾网恭喜重庆邮电大学申请的专利一种具有双侧面超结槽栅LDMOS器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113921611B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111139200.1,技术领域涉及:H10D30/65;该发明授权一种具有双侧面超结槽栅LDMOS器件是由陈伟中;周铸;秦海峰设计研发完成,并于2021-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有双侧面超结槽栅LDMOS器件在说明书摘要公布了:本发明涉及一种具有双侧面超结槽栅LDMOS器件,属于半导体技术领域。该器件由双侧面超结槽栅区和LDMOS导电区组成,利用二氧化硅隔离层将双侧面超结槽栅区和LDMOS导电区分离,双侧面超结槽栅区由槽栅P+接触区、P型辅助耗尽区、漏极N‑buffer区、漏极N+区、漏极P+区组成,LDMOS导电区由源极P+区、源极N+区、P‑body、漂移区、漏极N‑buffer区、漏极N+区组成。本发明在传统LDMOS器件结构上,使用双侧面超结槽栅技术,在保证获得较高的击穿电压下,能够大幅降低器件的比导通电阻和增大器件的跨导,最终提高器件的Baliga优值FOM,并打破了硅极限。
本发明授权一种具有双侧面超结槽栅LDMOS器件在权利要求书中公布了:1.一种具有双侧面超结槽栅LDMOS器件,其特征在于,该器件包括:源极P+区(1)、源极N+区(2)、P-body(3)、漂移区(6)、漏极N+区(7)、漏极N-buffer区(8)、漏极P+区(9)、P型辅助耗尽区(10)、槽栅P+接触区(11)和二氧化硅隔离层(12);其中,所述源极P+区(1)、源极N+区(2)、P-body(3)、漂移区(6)、漏极N-buffer区(8)和漏极N+区(7)从左至右依次排列组成LDMOS导电区;所述槽栅P+接触区(11)、P型辅助耗尽区(10)、漏极N-buffer区(8)、漏极N+区(7)和漏极P+区(9)从左至右依次排列组成双侧面超结槽栅区;所述二氧化硅隔离层(12)用于分离双侧面超结槽栅区和LDMOS导电区,LDMOS导电区位于二氧化硅隔离层(12)内侧,双侧面超结槽栅区位于二氧化硅隔离层(12)外侧。
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