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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利原料供给装置和原料供给方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116018426B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180054988.8，技术领域涉及：C23C16/448；该发明授权原料供给装置和原料供给方法是由小森荣一设计研发完成，并于2021-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本原料供给装置和原料供给方法在说明书摘要公布了：本公开的一个方式的原料供给装置是从溶液或分散体系生成反应性气体的原料供给装置，该溶液是将固体原料溶解于溶剂而得到的溶液，该分散体系是使固体原料分散于分散介质而得到的分散体系，所述原料供给装置具有：容器，其贮存所述溶液或所述分散体系；注入部，其将所述溶液或所述分散体系注入到所述容器内；排气口，其用于所述容器内排气；以及过滤器，其设置于所述容器内，所述过滤器将所述容器内划分为包括设置所述注入部的第一区域和设置所述排气口的第二区域的多个区域。

本发明授权原料供给装置和原料供给方法在权利要求书中公布了：1.一种原料供给装置，从溶液或分散体系生成反应性气体，所述溶液是将第一固体原料溶解于溶剂而得到的溶液，所述分散体系是使第一固体原料分散于分散介质而得到的分散体系，所述原料供给装置具有：容器，其贮存所述溶液或所述分散体系；注入部，其将所述溶液或所述分散体系注入到所述容器内；排气口，其用于所述容器内排气；以及过滤器，其设置于所述容器内，所述过滤器将所述容器内划分为包括设置所述注入部的第一区域和设置所述排气口的第二区域的多个区域，其中，所述过滤器大致水平地设置于所述容器内，所述第二区域位于比所述第一区域靠上方的位置，所述注入部穿过所述过滤器以使得该注入部的前端插入至所述第一区域中，所述原料供给装置还包括控制部，所述控制部进行控制以进行以下工序：通过所述注入部将所述溶液或所述分散体系注入到所述第一区域；通过从注入到所述第一区域的所述溶液或所述分散体系中去除所述溶剂或所述分散介质，来形成第二固体原料；以及通过将所述第二固体原料加热使其升华来生成反应性气体，并将该反应性气体从所述第二区域供给到处理装置。

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