恭喜株式会社荏原制作所宫本松太郎获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社荏原制作所申请的专利接点结构、基板支架、电镀装置以及向基板供电的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114318477B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110961477.6,技术领域涉及:C25D17/08;该发明授权接点结构、基板支架、电镀装置以及向基板供电的方法是由宫本松太郎设计研发完成,并于2021-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本接点结构、基板支架、电镀装置以及向基板供电的方法在说明书摘要公布了:本发明提供接点结构、基板支架、电镀装置以及向基板供电的方法。改善抑制电镀液与基板接点的接触的结构。接点结构具备:基板接点,具有与基板接触的前端侧的第一接点部分和比上述第一接点部分靠基端侧的第二接点部分;密封部件,覆盖上述基板接点的周围,并具有与上述基板接触以密封上述基板接点的密封面;第一按压部分,对上述基板接点弹性地施加对上述基板的接触压力;以及第二按压部分,与上述密封部件接触,与上述第一按压部分独立地对上述密封部件施加对上述基板的接触压力,上述第一接点部分粘合于上述密封部件,上述第二接点部分以能够相对于上述密封部件相对位移的方式嵌合于上述密封部件。
本发明授权接点结构、基板支架、电镀装置以及向基板供电的方法在权利要求书中公布了:1.一种接点结构,具备:基板接点,具有与基板接触的前端侧的第一接点部分和比上述第一接点部分靠基端侧的第二接点部分;密封部件,覆盖上述基板接点的周围,并具有与上述基板接触以密封上述基板接点的密封面;第一按压部分,对上述基板接点弹性地施加对上述基板的接触压力;以及第二按压部分,与上述密封部件接触,与上述第一按压部分独立地对上述密封部件施加对上述基板的接触压力,上述第一接点部分粘合于上述密封部件,上述第二接点部分以能够相对于上述密封部件相对位移的方式嵌合于上述密封部件。
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