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龙图腾网恭喜上海财盈半导体股份有限公司申请的专利一种远程等离子源真空腔体获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113889393B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110907984.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种远程等离子源真空腔体是由张德才;洪靖为设计研发完成，并于2021-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种远程等离子源真空腔体在说明书摘要公布了：本发明公开了一种远程等离子源真空腔体，涉及等离子源真空腔体技术领域。本发明包括中间开设有正N边形开口且整体呈环状的正N边形主体、进气端以及出气端、磁芯；正N边形主体采用若干连接块拼接而成，相邻连接块之间采用密封圈密封连接，连接块内开设有空腔，各连接块连接后形成连通式的整体空腔；进气端和出气端呈前后对称式安装于正N边形主体上，且进气端、出气端上分别设置有与整体空腔相连通的进气口、出气口，位于进气端的侧部设置有与进气口相连通的点火口。本发明结构有利于加工、安装、检修、维护以及损坏更换，大大提高了使用的效率，降低了成本；解决了现有真空腔体在损耗、清洁度、解离率等方面的不好影响，延长使用寿命。

本发明授权一种远程等离子源真空腔体在权利要求书中公布了：1.一种远程等离子源真空腔体，其特征在于，包括中间开设有正N边形开口且整体呈环状的正N边形主体1、设置于正N边形主体1上的进气端101以及出气端103、套设于正N边形主体1外部的磁芯2；所述磁芯2具体是通过两个“凵”字形带刮边的固定扣3相扣合并通过固定螺栓301对刮边进行贯穿后固定；所述正N边形主体1采用若干连接块拼接而成，相邻连接块之间采用密封圈密封连接，所述连接块内开设有空腔，各连接块连接后形成连通式的整体空腔105；所述整体空腔105的整体形状趋近于圆环，相邻连接块的空腔之间设置有弧形过渡；各所述连接块内的空腔剖面形状相同，使形成的整体空腔105为剖面相同的均匀腔体；各所述连接块的整体剖面形状相同，使形成的正N边形主体1为剖面相同的均匀整体；所述N为6以上的偶数；所述进气端101和出气端103呈前后对称式安装于正N边形主体1上，且进气端101、出气端103上分别设置有与整体空腔105相连通的进气口102、出气口104，进气端101的侧部设置有与进气口102相连通的点火口4；所述磁芯2总计安装有N-2个，对称一一分布于进气端101以及出气端103两侧位于正N边形主体1上的N-2个边长上。

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