恭喜朗姆研究公司苏尼尔·卡普尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利使用变压器实现衬底处理的均匀性的系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114762078B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080083775.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权使用变压器实现衬底处理的均匀性的系统和方法是由苏尼尔·卡普尔;丹·马罗尔;彭迅设计研发完成，并于2020-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用变压器实现衬底处理的均匀性的系统和方法在说明书摘要公布了：描述了使用变压器以在衬底处理中实现均匀性的系统和方法。所述系统中的一种包括具有第一端部和第二端部的初级绕组。所述第一端部被耦合至阻抗匹配电路的输出端，而所述第二端部被耦合至电容器。所述系统还包括与所述初级绕组相关联的次级绕组，且所述次级绕组被耦合至等离子体室的变压器耦合等离子体TCP线圈的第一端部和第二端部。所述初级绕组从所述阻抗匹配电路接收经修正的射频RF信号以产生磁通量，从而在所述次级绕组中感应电压。由所述电压所产生的RF信号被从所述次级绕组传送至所述TCP线圈。
本发明授权使用变压器实现衬底处理的均匀性的系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种变压器装置，其包括：初级绕组，其具有第一端部和第二端部，其中所述初级绕组的所述第一端部被耦合至阻抗匹配电路的输出端，而所述初级绕组的所述第二端部被耦合至电容器；次级绕组，其与所述初级绕组相关联，且其中所述次级绕组耦合至等离子体室的变压器耦合等离子体TCP线圈的第一端部以及所述TCP线圈的第二端部，其中所述初级绕组被配置成从所述阻抗匹配电路接收经修正的射频RF信号以产生磁通量，从而在所述次级绕组中感应电压，其中由所述电压产生的RF信号从所述次级绕组传送至所述TCP线圈。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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