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龙图腾网恭喜济南东谷新材料有限公司申请的专利一种半导体材料表面钝化用预处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111987017B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010875078.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种半导体材料表面钝化用预处理装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2020-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体材料表面钝化用预处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体材料技术领域，尤其是一种半导体材料表面钝化用预处理装置，包括箱体，箱体一侧底部安装有驱动电机，驱动电机的输出端安装有转轴，箱体底部安装有固定套，固定套内部螺纹安装有转动座，转动座顶部设置有第二转动柱，第二转动柱两端均安装有第一固定轴，第二转动柱一端的第一固定轴与转动座之间固定连接，第二转动柱另一端的第一固定轴顶部安装有承接座，第一固定轴外侧均转动安装有摩擦套，摩擦套与第一固定轴之间均安装有单向转动机构，第二转动柱与第三传动齿轮之间安装有第一驱动机构，承接座顶部转动安装有浸泡箱，浸泡箱两端顶部均安装有支板，支板中部安装有往复螺杆，本发明方便调节，提高半导体材料预处理效率。

本发明授权一种半导体材料表面钝化用预处理装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体材料表面钝化用预处理装置，包括箱体1,其特征在于，所述箱体1一侧底部安装有驱动电机2，所述驱动电机2的输出端安装有转轴20，所述转轴20伸入所述箱体1内部，且所述转轴20位于所述箱体1内部的一段外侧固定有第三传动齿轮21，所述箱体1底部安装有固定套26，所述固定套26的顶部与所述第三传动齿轮21的位置相对应，所述固定套26内部螺纹安装有转动座34，所述转动座34顶部设置有第二转动柱27，所述第二转动柱27两端均安装有第一固定轴30，所述第二转动柱27一端的所述第一固定轴30与所述转动座34之间固定连接，所述第二转动柱27另一端的所述第一固定轴30顶部安装有承接座25，所述第一固定轴30外侧均转动安装有摩擦套24，所述摩擦套24与所述第一固定轴30之间均安装有单向转动机构，所述第二转动柱27两端的所述摩擦套24的单向转动方向相反，所述第二转动柱27与所述第三传动齿轮21之间安装有第一驱动机构，所述承接座25顶部转动安装有浸泡箱4，所述浸泡箱4两端顶部均安装有支板10，所述浸泡箱4与所述箱体1之间安装有限位机构，所述支板10中部安装有往复螺杆7，所述往复螺杆7中部螺纹安装有移动座8，所述移动座8内部贯穿安装有进水管11，且所述移动座8上安装有清洗机构，所述往复螺杆7与所述驱动电机2同侧的一端外侧固定有传动轴36，所述传动轴36与所述转轴20之间安装有第二驱动机构；所述单向转动机构包括限位槽31、第二固定轴32、限位块33和弹簧28，所述限位槽31沿所述摩擦套24内部周向均匀开设，所述限位槽31为三角槽，且所述限位槽31一半开设在所述第一固定轴30外侧，所述第二固定轴32安装在所述限位槽31位于所述摩擦套24一侧的顶部，且所述限位块33一端转动安装在所述第二固定轴32上，所述弹簧28固定在所述限位槽31与所述第一固定轴30相对的一端顶部，所述弹簧28另一端与所述限位块33相接。

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