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恭喜森特电子计量有限公司贝恩德·斯罗卡获国家专利权

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龙图腾网恭喜森特电子计量有限公司申请的专利用于测量物体的高度轮廓的装置和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114144635B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080053465.7,技术领域涉及:G01B9/02;该发明授权用于测量物体的高度轮廓的装置和方法是由贝恩德·斯罗卡设计研发完成,并于2020-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。

用于测量物体的高度轮廓的装置和方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于通过干涉式距离测量来感测物体的物体表面30的表面轮廓的光学装置和系统,包括:用于将光源7的光束84分成第一子光束410和第二子光束420的分光器3;用于将光源7的每个子光束410,420分成参考光束470,480和测量光束430,440的分束器4,用于反射两个参考光束470,480的镜子5,其中每个测量光束430,440被引导到物体表面的测量区域进行反射,在反射后作为物体光束450,460被引导至分束器4,每个参考光束470,480在镜子处被反射并作为镜子光束490,500被引导到分束器4。物体光束450,460和镜子光束490,500在撞击分束器4后各自发生干涉,并且各自作为评估光束520,510被送至检测器单元8进行评估,其中两个评估光束520,510具有相位差。该系统进一步包括用于产生单色光束84的光源7、用于检测评估光束520、510的检测器单元8和用于评估所检测的评估光束520、510并查明表面轮廓的信号评估单元9。

本发明授权用于测量物体的高度轮廓的装置和方法在权利要求书中公布了:1.一种通过干涉式距离测量来感测物体的物体表面30的表面轮廓的光学装置,包括用于将光源7的光束84分成第一子光束410和第二子光束420的分光器3;用于将光源7的每个子光束410,420分成参考光束470,480和测量光束430,440的分束器4;用于反射两个参考光束470,480的镜子5,该镜子被设计成在反射光束490,500之间产生相位差;检测器单元8,用于检测评估光束520,510;和信号评估单元9,用于评估检测到的评估光束520,510并查明表面轮廓;其中每个测量光束430,440被引导以在物体表面30的测量区域上进行反射,并在反射后作为物体光束450,460被引导到分束器4;每个参考光束470,480被镜子反射并作为反射光束490,500被引导到分束器4;物体光束450,460和反射光束490,500在撞击分束器4后各自发生干涉,并各自作为评估光束520,510被送入检测器单元8进行评估;信号评估单元9被设计用来查明两个评估光束520,510的强度;和信号评估单元9被设计成通过使用两个评估光束520,510的强度来查明表面30的高度轮廓,其中表面30的反射率对测量强度的影响通过计算得到补偿,从而为反射不是100%的物体表面30以及在待测区域内具有不同反射系数的物体表面30查明正确的轮廓,以及信号评估单元还被设计成,从物体表面30的查明的反射系数中,为每个波长创建单色的检验像,并且所述反射系数是从先前查明的高度轮廓和所述两个评估光束520,510中的至少一者的测量的信号强度中计算的,从而对所述两个评估光束520,510的强度的仅一次测量对于所观察的测量区域的高度轮廓的查明和反射率的影响的消除是足够的。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人森特电子计量有限公司,其通讯地址为:德国曼海姆;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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