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龙图腾网恭喜JSW阿克迪纳系统有限公司申请的专利激光照射装置、激光照射方法及半导体装置的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113661561B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980095320.0，技术领域涉及：H01L21/20；该发明授权激光照射装置、激光照射方法及半导体装置的制造方法是由大森贤一;郑石焕设计研发完成，并于2019-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本激光照射装置、激光照射方法及半导体装置的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供减少激光的照射不均匀的激光照射装置、激光照射方法及半导体装置的制造方法。激光照射装置具备激光源11和波形成形装置20。波形成形装置20包括：第1波形成形部30，其通过对将激光源11产生的脉冲激光L1由第1分束器31分支得到的2条光束L11、L12赋予与光程差对应的延迟，从而成形脉冲激光的脉冲波形；波长板37，其使来自第1波形成形部30的脉冲激光L13的偏振状态变化；以及第2波形成形部40，其通过对由第2分束器41分支得到的2条光束L15、L16赋予与光程差对应的延迟，从而成形脉冲激光L14的脉冲波形。

本发明授权激光照射装置、激光照射方法及半导体装置的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种激光照射装置，其特征在于，包括：激光源，其产生具有第1偏振光成分和第2偏振光成分的脉冲激光；第1波形成形部，其具备对所述脉冲激光进行分支的第1分束器，通过对由所述第1分束器分支得到的2条光束赋予与光程差对应的延迟，从而成形所述脉冲激光的脉冲波形；波长板，其使来自所述第1波形成形部的所述脉冲激光的偏振状态变化；以及第2波形成形部，其具备使来自所述波长板的所述脉冲激光分支的第2分束器，通过对由所述第2分束器分支得到的2条光束赋予与光程差对应的延迟，从而成形所述脉冲激光的脉冲波形，所述第1分束器是将第1偏振光成分分支为两条并将与第1偏振光成分正交的第2偏振光成分的光分支为两条的非偏振光束分束器，所述波长板使所述第1偏振光成分及所述第2偏振光成分分别旋转90°，所述第2分束器是将第1偏振光成分分支为两条并将与第1偏振光成分正交的第2偏振光成分的光分支为两条的非偏振光束分束器，在所述第1分束器中，相对于所述第1偏振光成分的分支比与相对于所述第2偏振光成分的分支比不同，在所述第2分束器中，相对于所述第1偏振光成分的分支比与相对于所述第2偏振光成分的分支比不同。

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