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龙图腾网恭喜天津环博科技有限责任公司申请的专利一种可分栏硅片的摆动机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112735970B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910973304.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种可分栏硅片的摆动机构是由靳立辉;尹擎;任志高;王国瑞;杨骅;王思雨;姚长娟;李博;樊赛设计研发完成，并于2019-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可分栏硅片的摆动机构在说明书摘要公布了：本发明涉及一种可分栏硅片的摆动机构，设置在硅片片篮上游，包括注水基板，喷水盖板和摆动装置，注水基板倾斜设置，注水基板上设有水槽，注水基板上设有贯穿的注水管，注水管与水槽连通，喷水盖板覆盖设置在注水基板上，喷水盖板上设有贯通的出水管，多个出水管位置与水槽匹配；摆动装置设置在喷水盖板外侧，摆动装置包括横梁，摆动气缸和摆杆，摆杆设置在横梁下侧，摆动气缸设置在横梁上表面，摆动气缸连接摆杆，摆杆贴紧喷水盖板。本发明的有益效果是：通过摆杆的摆动实现变向的两侧上片，能够实现连续上片，减少了取走装满硅片的片篮时需要等待空片蓝就位的时间；增加设备片蓝存储量，并减少人工频繁取蓝、上篮操作时间。

本发明授权一种可分栏硅片的摆动机构在权利要求书中公布了：1.一种可分栏硅片的摆动机构，设置在硅片片篮上游，其特征在于：包括注水基板，喷水盖板和摆动装置，所述注水基板倾斜设置，所述注水基板上设有水槽，所述水槽交错贯通设置，以网格的形式铺满所述注水基板上表面，所述注水基板上设有贯穿的注水管，所述注水管与所述水槽连通，所述喷水盖板覆盖设置在所述注水基板上，所述喷水盖板上设有贯通的出水管，多个所述出水管位置与所述水槽匹配，所述水槽内的水能够通过所述出水管溢出所述喷水盖板，在所述喷水盖板上形成水膜；所述摆动装置设置在所述喷水盖板外侧，所述摆动装置包括横梁，摆动气缸和摆杆，所述摆杆设置在所述横梁下侧，所述摆动气缸设置在所述横梁上表面，所述摆动气缸连接所述摆杆，所述摆杆贴紧所述喷水盖板；所述注水基板与所述喷水盖板形状相同，两侧通过压块紧密固定，所述横梁固定设置在所述压块上，所述喷水盖板前端的两侧压块形成硅片入口，所述喷水盖板后端的两侧压块形成硅片出口；所述注水基板后端通过隔离板隔出两个硅片分出口，所述隔离板与所述横梁固定连接，两个所述硅片分出口与所述硅片入口宽度均大于硅片边长。

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