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恭喜绵阳炘皓新能源科技有限公司刘思瑞获国家专利权

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龙图腾网恭喜绵阳炘皓新能源科技有限公司申请的专利一种自形成gap区域的TBC电池结构及其PVD法制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119653870B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510167610.9,技术领域涉及:H10F10/14;该发明授权一种自形成gap区域的TBC电池结构及其PVD法制备方法是由刘思瑞;刘大伟;杨仕林;刘军保;王涛设计研发完成,并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种自形成gap区域的TBC电池结构及其PVD法制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光伏技术领域,公开了一种自形成gap区域的TBC电池结构及其PVD法制备方法,包括硅基体,所述硅基体的背表面设置有p+区域和n+区域,所述p+区域和n+区域在硅基体背表面上所处高度位置相互错开形成台阶,连接p+区域和n+区域的台阶侧壁处形成gap区域,所述gap区域用于电学隔离所述p+区域和n+区域;所述p+区域包括在硅基体上依次沉积的第一隧穿氧化层、p‑poly层、第二隧穿氧化层和n‑poly层;所述n+区域在硅基体上依次沉积的第二隧穿氧化层和n‑poly层。本发明利用p‑poly叠加n‑poly形成隧穿结,可直接避免使用第二次激光去除p‑poly上的n‑poly,避免了激光对表面晶硅层的损伤,同时减少一道激光开槽工序,大大的降低了生产成本。

本发明授权一种自形成gap区域的TBC电池结构及其PVD法制备方法在权利要求书中公布了:1.一种自形成gap区域的TBC电池结构的PVD法制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1,将N型单晶硅片进行双面抛光处理;S2,选择N型单晶硅片某一面作为背表面,依次沉积第一隧穿氧化层和本征poly膜层;S3,对本征poly膜层进行硼源沉积与推进,得到p-poly层,并在p-poly层表面生长一层BSG膜层;S4,采用激光对背表面进行图形化处理,局部去除背表面的BSG膜层;S5,湿法清洗,使得背表面预留的n-poly沉积区域裸露出硅基体表面;S6,采用碱洗,使预留的n-poly沉积区域的硅基体腐蚀与p-poly区域的硅基体之间形成台阶;采用酸洗去除p-poly区域表面的BSG膜层;S7,在整个背面沉积第二隧穿氧化层,然后采用PVD沉积方法沉积一层原位掺杂的n型非晶硅膜层;S8,进行磷源的推进及非晶硅的晶化处理,获得n-poly层和PSG膜层;S9,清洗去除背表面的PSG膜层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人绵阳炘皓新能源科技有限公司,其通讯地址为:621000 四川省绵阳市安州区创业路9号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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