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龙图腾网恭喜杭州鼎能光电科技有限公司申请的专利一种钙钛矿薄膜的飞秒激光刻蚀方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119609384B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510157082.9，技术领域涉及：B23K26/362；该发明授权一种钙钛矿薄膜的飞秒激光刻蚀方法及系统是由郭家俊;徐灵炜设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种钙钛矿薄膜的飞秒激光刻蚀方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种钙钛矿薄膜的飞秒激光刻蚀方法及系统，本发明涉及半导体处理技术领域，该系统包括：激光光源模块，用于产生高重复率、可调激光功率、频率和光束扩散角的飞秒激光脉冲；光学路径控制模块，配置有光学元件组、光学元件对准系统、光束整形器及自适应光学元件，用于调整激光束的路径、聚焦和能量分布；其中，所述自适应光学元件包括可调变形镜和液晶空间光调制器。该钙钛矿薄膜的飞秒激光刻蚀方法及系统，结合实时波前监测与畸变校正以及光学元件驱动系统，确保了光学路径的稳定性和一致性，解决了传统刻蚀方法难以在大面积薄膜上保持刻蚀的一致性和均匀性，导致器件性能的不稳定和降低的问题。

本发明授权一种钙钛矿薄膜的飞秒激光刻蚀方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种钙钛矿薄膜的飞秒激光刻蚀系统，其特征在于，该系统包括：激光光源模块，用于产生高重复率、可调激光功率、频率和光束扩散角的飞秒激光脉冲；光学路径控制模块，配置有光学元件组、光学元件对准系统、光束整形器及自适应光学元件，用于调整激光束的路径、聚焦和能量分布；其中，所述自适应光学元件包括可调变形镜和液晶空间光调制器，所述可调变形镜用于实时调整激光束的聚焦状态，补偿光学系统中的热畸变和机械振动；所述液晶空间光调制器用于实时调节激光束的相位和幅度；扫描系统模块，包括运动平台和扫描镜，用于实现激光束在钙钛矿薄膜表面的纳米级精度扫描；热管理系统模块，用于控制系统各部件的温度，防止因激光刻蚀产生的热量导致设备过热或钙钛矿薄膜的热损伤；控制系统模块，包含中央控制计算机、智能控制算法及人机交互界面，用于整体系统的控制与管理；还基于机器学习的参数预测与优化，利用机器学习模型分析刻蚀数据，预测刻蚀质量，并自动优化激光参数；监控反馈模块，包括高分辨率光学监测系统、光谱分析仪、温度传感器及数据融合分析平台，用于实时监测刻蚀过程并提供反馈；质量检验模块，用于刻蚀完成后的样品清洗和质量检验；其中，控制系统模块还集成光学显微镜、光谱分析仪、温度传感器，通过数据融合分析平台实现刻蚀过程监控与反馈。

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