买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜潍坊芯微电子设备有限公司申请的专利一种立式扩散炉晶圆转运机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626961B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510146851.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种立式扩散炉晶圆转运机器人是由朱滨泉;王秋玲;蔡宗捷;苏益兴设计研发完成，并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种立式扩散炉晶圆转运机器人在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆转运技术领域，尤其涉及一种立式扩散炉晶圆转运机器人，包括安装板，安装板依次通过转动机构和平移机构安装有安装架，转动机构和平移机构用于实现安装架转动和伸缩位移；安装架与托盘固定，安装架上安装有夹持部和推送部，夹持部用于将晶圆按压在托盘上，推送部用于将晶圆向立式扩散炉中推送。本发明通过该转运机器人将流水线上的晶圆通过自动化机械转运至立式扩散炉中，一方面避免了柔性线操作的人工成本浪费问题，另一方面改善了晶圆装炉均匀性、到位性差的问题，从而能够大幅度提高产品质量。

本发明授权一种立式扩散炉晶圆转运机器人在权利要求书中公布了：1.一种立式扩散炉晶圆转运机器人，包括安装板（101），其特征在于：所述安装板（101）固定安装在能够竖直位移的滑动机架上，所述安装板（101）依次通过转动机构（200）和平移机构（300）安装有安装架（102），所述转动机构（200）和平移机构（300）用于实现安装架（102）转动和伸缩位移；所述安装架（102）与托盘（103）固定，所述托盘（103）上固定安装有限位环（104），所述限位环（104）的中部固定安装有第一传感器（105）；所述托盘（103）两侧分别固定有限位条（106），所述限位条（106）的内表面固定有导向条（107），所述导向条（107）下表面倾斜设置；所述安装架（102）上安装有夹持部（400）和推送部（500），所述推送部（500）用于将晶圆向立式扩散炉中推送；所述夹持部（400）包括撬动杆（401），所述撬动杆（401）中部通过安装轴（402）铰链在安装架（102）上，所述安装轴（402）上套设有扭转弹簧（403），所述撬动杆（401）通过扭转弹簧（403）与安装架（102）固定；所述撬动杆（401）第一端能够与电磁铁（404）吸附，所述撬动杆（401）第一端还与遮挡板（405）固定，所述遮挡板（405）能够触发第五传感器（406），所述撬动杆（401）第一端顶部能够与压力传感器（407）抵接，所述电磁铁（404）、第五传感器（406）、压力传感器（407）均固定在安装架（102）上，所述撬动杆（401）第二端固定安装有按压板（408）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人潍坊芯微电子设备有限公司，其通讯地址为：262700 山东省潍坊市寿光市留吕大街28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。