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龙图腾网恭喜合肥九川智能装备有限公司申请的专利一种用于飞针测试的宽量程电容测试系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119596006B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510142958.2，技术领域涉及：G01R27/26；该发明授权一种用于飞针测试的宽量程电容测试系统是由赵凌云;董二虎;刘春设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于飞针测试的宽量程电容测试系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于飞针测试的宽量程电容测试系统，属于超大规模集成电路及半导体制造领域。该系统包括切换模块、自检通道、测试通道、信号处理电路和AD采集电路，能够精确测量宽范围电容值，解决了现有技术中量程、数字化、精度及抗干扰能力不足的问题。通过切换模块实现自检和测试的高效切换，自检通道确保系统准确性和稳定性。利用数字控制系统和信号处理电路提高测试精度和稳定性，同时动态调整信号源频率规避噪声干扰。多次采样取平均的方法进一步提升了测试精度。本发明在半导体制造领域具有广泛的应用前景，能够降低测试和生产成本，提高生产效率。

本发明授权一种用于飞针测试的宽量程电容测试系统在权利要求书中公布了：1.一种用于飞针测试的宽量程电容测试系统，其特征在于，所述系统包括：切换模块，用于根据测试信号切换至自检通道或测试通道；自检通道，包括自检电容，所述自检通道用于响应所述切换模块对所述自检电容进行充放电，并输出来自自检电容的响应信号，用于系统自检；测试通道，用于通过物理接触向待测电容施加所述测试信号，对待测电容进行充放电，并输出来自待测电容的响应信号；信号处理电路，连接于自检通道和测试通道的输出端，用于接收自检电容或待测电容的响应信号，并对响应信号进行放大、整流积分、调零放大处理后输出信号；AD采集电路，连接于信号处理电路的输出端，用于接收输出信号并进行数据分析以确定自检电容值或待测电容值；所述切换模块包括DDS信号源和模拟开关；所述DDS信号源用于输出宽范围频率可调的所述测试信号Vin；所述模拟开关用于接收DDS信号源输出的测试信号Vin，根据测试信号切换输出至所述自检通道输入端V2或所述测试通道输入端V1；所述自检通道包括4通道模拟开关U7，及分别与4通道模拟开关U7连接的自检电容C11、C12、C13和C14，及所述自检电容对应的切换开关，及包括自检通道的输出端V3。

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