恭喜深圳众诚达应用材料股份有限公司周贤界获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳众诚达应用材料股份有限公司申请的专利一种喷涂平面靶材及其制备方法和压电传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119506796B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510090999.1，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种喷涂平面靶材及其制备方法和压电传感器是由周贤界;关泽汉;徐红星;黄勇彪设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种喷涂平面靶材及其制备方法和压电传感器在说明书摘要公布了：本申请涉及溅射用靶材制备技术领域，提供了一种喷涂平面靶材及其制备方法和压电传感器，所述喷涂平面靶材的制备方法包括以下步骤：提供平面靶材基体；将靶材粉料热喷涂到所述平面靶材基体的待喷涂面，形成靶材层，然后机加工得到喷涂平面靶材；其中，所述待喷涂面包括由中心处至外周处水平高度逐渐降低的坡面结构。本申请提供的制备方法采用热喷涂的方式，无需长时间高温烧结，利于降低能耗、成本和提高生产效率。并且通过平面靶材基体的坡面结构弥补靶材层热应力导致的翘曲，提高平面靶材的靶材层的表面平整性，有利于提高其作为溅射靶材时的溅射均匀性。
本发明授权一种喷涂平面靶材及其制备方法和压电传感器在权利要求书中公布了：1.一种喷涂平面靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供平面靶材基体；将靶材粉料热喷涂到所述平面靶材基体的待喷涂面，形成靶材层，然后机加工得到喷涂平面靶材；其中，所述待喷涂面包括由中心处至外周处水平高度逐渐降低的坡面结构；所述待喷涂面上，沿所述坡面结构的坡度方向依次设置多个抗拉结构，所述抗拉结构包括与所述坡度方向所在直线相交的沟槽和或台阶；所述坡面结构的坡度为1°~5°；所述平面靶材基体为金属基体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳众诚达应用材料股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区新安街道海滨社区宝兴路6号海纳百川总部大厦A座5层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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