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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119469691B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510062146.7，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量系统及方法是由姚东;石非凡设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量系统及方法在说明书摘要公布了：本发明属于偏振探测技术领域，尤其涉及一种汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量系统及方法。方法包括：S1：将待测汇聚光学系统固定在待测样品台上；S2：利用光强探测器测得n条细光束的光强数据；S3：利用光强探测器对应接收h组n条细光束的光强数据；S4：获得待测汇聚光学系统在当前细光束出射位置下的穆勒矩阵；S5：获得待测汇聚光学系统在i个细光束出射位置下的穆勒矩阵；S6：获得表征待测汇聚光学系统的偏振调制特性的总穆勒矩阵；S7：获得待测汇聚光学系统的汇聚点的立体振动特性。本发明能够对汇聚镜组的穆勒矩阵进行测量和标定，剔除了汇聚镜组对超高精密光学系统（如光刻机等）的偏振调制特性进行测量时所带来的误差。

本发明授权汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量方法，利用汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量系统实现，其特征在于：汇聚光学系统的立体偏振调制特性的测量系统包括光源单元，所述光源单元包括光源平动装置、光束出射系统、第一偏振片和第一波片，所述光束出射系统设置在所述光源平动装置上，所述光源平动装置带动所述光束出射系统进行平动，所述光束出射系统出射细光束，细光束依次经第一偏振片和第一波片入射至待测汇聚光学系统；待测样品台，所述待测样品台用于固定所述待测汇聚光学系统，并使所述待测汇聚光学系统沿着自身的光轴方向进行轴向旋转；接收单元，所述接收单元包括第二波片、第二偏振片和光强探测器，自待测汇聚光学系统出射的细光束依次经所述第二波片和所述第二偏振片入射至光强探测器；旋转单元，所述旋转单元带动所述接收单元进行旋转，使所述接收单元置于不同的空间位置，且使所述接收单元接收细光束的光强数据；测量方法具体包括如下步骤：S1：将所述待测汇聚光学系统固定在所述待测样品台上；S2：所述光束出射系统出射的细光束依次经所述第一偏振片、所述第一波片、所述待测汇聚光学系统、所述第二波片和所述第二偏振片入射至光强探测器，所述旋转单元带动所述接收单元进行旋转，使所述接收单元置于不同的空间位置，所述光强探测器对应测得n条细光束的光强数据，并获得n条细光束的振幅分布；S3：利用步进电机带动所述第一波片和所述第二波片以预设角度比旋转h次，且使所述光强探测器对应接收h组n条细光束的光强数据；S4：对所有的光强数据进行傅里叶拟合，获得所述待测汇聚光学系统在当前光束出射位置下的穆勒矩阵；S5：利用光源平动装置对所述光束出射系统的光束出射位置进行调整，用新的光束出射位置替代当前的细光束出射位置，重复步骤S2-S4，直至获得待测汇聚光学系统在i个细光束出射位置下的穆勒矩阵；S6：对步骤S5获得的所有细光束出射位置下的穆勒矩阵进行积分，获得表征待测汇聚光学系统的偏振调制特性的总穆勒矩阵；S7：基于所有细光束的振幅分布，获得待测汇聚光学系统的汇聚点的立体振动特性。

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