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恭喜麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司施朱斌获国家专利权

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龙图腾网恭喜麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司申请的专利四探针测量仪、四探针测量系统及四探针测量仪测量待测硅片的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119395519B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510007146.7,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权四探针测量仪、四探针测量系统及四探针测量仪测量待测硅片的方法是由施朱斌;刘相华设计研发完成,并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

四探针测量仪、四探针测量系统及四探针测量仪测量待测硅片的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体检测技术领域,提供了一种四探针测量仪、四探针测量系统及四探针测量仪测量待测硅片的方法,其中四探针测量仪包括:四个探针;导电板,所述导电板具有与所述探针相对的孔洞,所述探针从所述孔洞中穿过;电压控制器,连接于所述导电板,用于向所述导电板输出稳定的电压;上位机,用于向所述电压控制器发送指令,控制所述电压控制器工作。本发明使导电板带电势,在电场的作用下,半导体表面的载流子浓度增加,从而减小半导体表面接触势垒,改善接触特性,可以使探针和被测硅片表面形成良好的欧姆接触,提高硅片测量的稳定性。

本发明授权四探针测量仪、四探针测量系统及四探针测量仪测量待测硅片的方法在权利要求书中公布了:1.一种四探针测量仪,其特征在于,包括:四个探针;导电板,所述导电板具有与所述探针相对的孔洞,所述探针从所述孔洞中穿过;电压控制器,连接于所述导电板,用于向所述导电板输出稳定的电压;上位机,用于向所述电压控制器发送指令,控制所述电压控制器工作;所述导电板与所述探针的外周相绝缘。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司,其通讯地址为:201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路2305号B幢12层(产证楼层为11层)1203工位;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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