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龙图腾网恭喜合肥美镓传感科技有限公司申请的专利加速度传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119375512B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411945214.6，技术领域涉及：G01P15/12；该发明授权加速度传感器及其制备方法是由刘云鹏;孙剑文;于雨;刘煦设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本加速度传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种加速度传感器及其制备方法，属于半导体技术领域。该加速度传感器包括基体、四个感应电阻和四个质量块，两个输入端与四个感应电阻电连接形成一等效电路，当被测方向提供加速度时，四个感应电阻分别会在质量块的作用力下产生电阻的变化，通过测量等效电路中两个输出端电压变化情况可以实现对加速度的检测。本申请实施例中将四个感应电阻电连接形成一电路结构进行加速度的计算，可以避免其它环境因素对计算结果的影响，有利于提高计算结果的准确度。并且，四个感应电阻均为高电子迁移率晶体管，压阻系数较大、灵敏度较高，在低温和高温环境中均具有较高的可靠性，从而可以提高加速度传感器的灵敏度和可靠性。

本发明授权加速度传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种加速度传感器，其特征在于，所述加速度传感器包括基体、多个感应电阻、多个悬臂结构和多个质量块；所述多个感应电阻包括第一感应电阻、第二感应电阻、第三感应电阻和第四感应电阻，所述多个质量块包括第一质量块、第二质量块、第三质量块和第四质量块；所述第一质量块通过所述第一感应电阻与所述基体连接，所述第二质量块通过所述第二感应电阻与所述基体连接，所述第三质量块通过所述第三感应电阻与所述基体连接，所述第四质量块通过所述第四感应电阻与所述基体连接；所述加速度传感器还包括第一输入端和第二输入端，以及第一输出端和第二输出端；所述多个感应电阻均为高电子迁移率晶体管，所述第一感应电阻的源极与所述第一输入端电连接，所述第一感应电阻的漏极与所述第一输出端和所述第二感应电阻的源极电连接，所述第二感应电阻的漏极与所述第二输入端和所述第三感应电阻的漏极电连接，所述第三感应电阻的源极与所述第二输出端和所述第四感应电阻的漏极电连接，所述第四感应电阻的源极与所述第一输入端电连接；所述质量块包括沿第一方向相对的第一端和第二端，所述第一方向与所述基体所在的平面相平行；所述第一质量块的第一端通过所述第一感应电阻与所述基体连接，且所述第一质量块的第一端还通过所述悬臂结构与所述基体连接；所述第二质量块的第一端通过所述第二感应电阻与所述基体连接，且所述第二质量块的第一端还通过所述悬臂结构与所述基体连接；所述第三质量块的第二端通过所述第三感应电阻与所述基体连接，且所述第三质量块的第二端还通过所述悬臂结构与所述基体连接；所述第四质量块的第二端通过所述第四感应电阻与所述基体连接，且所述第四质量块的第二端还通过所述悬臂结构与所述基体连接；所述悬臂结构包括沿第二方向相对的第一侧和第二侧，所述第一感应电阻和所述第三感应电阻均位于对应的悬臂结构的第一侧，所述第二感应电阻和所述第四感应电阻均位于对应的悬臂结构的第二侧；所述第二方向与所述第一方向相交叉，且所述第二方向与所述基体所在的平面相平行。

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