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龙图腾网恭喜深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利用于晶圆的上下料装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119340253B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411877179.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权用于晶圆的上下料装置是由刘世文;王建勇设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆的上下料装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种用于晶圆的上下料装置，上下料装置包括机架机构、物料机构、传送装置及角度调整机构，机架机构具有物料进料空间、传送移动空间及预对准空间，物料进料空间与传送移动空间沿宽度方向或长度方向设置，传送移动空间与预对准空间沿长度方向设置，传送装置设于传送移动空间内，传送装置的升降机构包括升降底板、升降立柱基板、升降电机、丝杆组件及升降连接件，升降立柱基板沿高度方向设于升降底板上，升降底板和升降立柱基板沿宽度方向设置，使得升降立柱基板、升降导轨组件、丝杠组件沿宽度方向依次设置，有利于减小传送移动空间在长度方向的距离，减小上下料装置沿长度方向的尺寸，减小上下料装置的体积、占地空间及重量。

本发明授权用于晶圆的上下料装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆的上下料装置，其特征在于，包括：机架机构，具有物料进料空间、传送移动空间及预对准空间，所述物料进料空间与所述传送移动空间沿长度方向设置，所述传送移动空间与所述预对准空间沿所述长度方向设置；物料机构，设于所述物料进料空间内，用于存放多个待测样品；传送装置，设于所述传送移动空间内，所述传送装置包括：升降机构，所述升降机构包括升降底板、升降立柱基板、升降导轨组件、升降电机、丝杆组件及升降连接件，所述升降立柱基板沿高度方向设于所述升降底板上，所述升降底板和所述升降立柱基板沿宽度方向设置，所述升降导轨组件设于所述升降立柱基板上且沿所述高度方向延伸，所述丝杆组件沿所述高度方向于升降立柱基板上，所述升降连接件设于所述丝杆组件上且滑动连接所述升降导轨组件，所述升降电机设于所述升降底板，并驱动所述丝杆组件带动所述升降连接件升降，所述升降立柱基板、所述升降导轨组件、所述丝杆组件沿所述宽度方向依次设置；旋转机构，沿所述高度方向安装于所述升降连接件上，所述旋转机构随着所述升降机构升降；平移机构，沿所述高度方向安装于所述旋转机构上，所述平移机构随着所述旋转机构在水平面内转动；叉臂组件，连接所述平移机构，所述叉臂组件随着所述平移机构移动，以移动至所述物料机构内取出和放回所述待测样品；角度调整机构，设于所述预对准空间内且沿所述长度方向设于所述升降机构的一侧，用于将所述待测样品旋转至预设状态；回收组件，设于所述机架机构上且位于所述角度调整机构上方，所述回收组件包括回收基板及回收移动件，所述回收基板固定于所述机架机构上，所述回收基板上设有回收导轨，所述回收移动件滑动连接所述回收导轨且可沿所述长度方向移动，所述回收移动件上设有第一定位块、第二定位块和第三定位块，所述第二定位块和所述第三定位块相对间隔设置，所述第一定位块设于所述第二定位块和第三定位块背离所述传送装置的一侧，所述第一定位块、所述第二定位块和所述第三定位块围合形成用于放置所述待测样品的回收空间；所述第一定位块沿所述高度方向设有第一台阶面和第二台阶面，所述第二定位块沿所述高度方向设有第三台阶面和第四台阶面，所述第三定位块沿所述高度方向设有第五台阶面和第六台阶面，所述第一台阶面、所述第三台阶面、所述第五台阶面用于抵接并限位第一尺寸的所述待测样品，所述第二台阶面、所述第四台阶面、所述第六台阶面用于抵接并限位第二尺寸的所述待测样品，所述第一尺寸小于所述第二尺寸。

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