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恭喜北京怀柔实验室李翠获国家专利权

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龙图腾网恭喜北京怀柔实验室申请的专利MOSFET器件的元胞结构及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119300412B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411828382.7,技术领域涉及:H10D30/63;该发明授权MOSFET器件的元胞结构及其制备方法是由李翠;金锐;和峰;刘江;葛念念;李哲洋;崔翔;葛欢设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

MOSFET器件的元胞结构及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种MOSFET器件的元胞结构及其制备方法,元胞结构包括:衬底;第一外延层,第一外延层在背离衬底的一侧具有第一表面,第一外延层具有第一掺杂类型;第一掺杂区,位于第一外延层中,第一掺杂区由第一表面向衬底方向离子注入形成,第一表面具有未形成第一掺杂区的多个间隔区域,第一掺杂区位于任意相邻两个间隔区域之间;第二外延层,位于第一表面上,第二外延层至少覆盖部分第一掺杂区,第二外延层的掺杂浓度低于第一掺杂区的掺杂浓度,第一掺杂区或第二外延层具有多个凸起部。优化了沟道下方掺杂配置和沟道宽度,改善了MOS器件的正向导通特性。

本发明授权MOSFET器件的元胞结构及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种MOSFET器件的元胞结构,其特征在于,包括:衬底,具有第一掺杂类型;第一外延层,位于所述衬底的一侧,所述第一外延层在背离所述衬底的一侧具有第一表面,所述第一外延层具有第一掺杂类型;第一掺杂区,位于所述第一外延层中,所述第一掺杂区由所述第一表面向衬底方向离子注入形成,所述第一表面具有未形成所述第一掺杂区的多个间隔区域,所述第一掺杂区位于任意相邻两个所述间隔区域之间,所述第一掺杂区具有第二掺杂类型;第二外延层,位于所述第一表面上,所述第二外延层至少覆盖部分所述第一掺杂区,所述第二外延层具有第二掺杂类型,所述第二外延层的掺杂浓度低于所述第一掺杂区的掺杂浓度,所述第一掺杂区或所述第二外延层具有多个凸起部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京怀柔实验室,其通讯地址为:101400 北京市怀柔区杨雁东一路8号院5号楼319室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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