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龙图腾网恭喜视拓(苏州)工业自动化有限公司申请的专利一种超洁净环境下的晶圆质量检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119164969B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411650589.X，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种超洁净环境下的晶圆质量检测方法是由惠洁;李硕硕;张永帅;胡浩;顾云龙设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种超洁净环境下的晶圆质量检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆检测技术领域，具体为一种超洁净环境下的晶圆质量检测方法，包括：在激光检测台对晶圆表面进行的激光扫描检测，对表面异常的晶圆进行气体冲洗，并再次进行激光扫描检测；当激光检测台检测到晶圆表面存在缺陷时，对晶圆表面进行热辐射加热，通过红外热像仪检测晶圆的具体缺陷；对晶圆的内部进行超声检测，根据超声反射信号判断晶圆是否存在内部缺陷，生成存在内部缺陷晶圆的超声检测图像，通过构建神经网络，提取存在内部缺陷晶圆的缺陷数据；生成晶圆质量检测报告，显示晶圆检测结果。本发明对晶圆表面和外部进行多重检测，在提升检测准确率的同时提升了检测效率并节省了检测时的资源占用。

本发明授权一种超洁净环境下的晶圆质量检测方法在权利要求书中公布了：1.一种超洁净环境下的晶圆质量检测方法，其特征在于，包括：将完成生产的晶圆传输至激光检测台，在激光检测台对晶圆表面进行的激光扫描检测，对表面异常的晶圆进行气体冲洗，并再次进行激光扫描检测；当激光检测台检测到晶圆表面存在缺陷时，对晶圆表面进行热辐射加热，通过红外热像仪检测晶圆的具体缺陷；当检测出晶圆表面存在缺陷时，采用热辐射加热仪器对晶圆缺陷位置的区域进行加热，使用高分辨率红外热成像仪对晶圆表面进行扫描，捕捉被加热的晶圆表面红外变化；采用红外传感器采集晶圆被热辐射加热仪器加热后的红外特征图像，对采集的红外特征图像进行滤波降噪，并根据预检测得出的晶圆缺陷位置，对图像进行分割；对红外特征图像，进行数据处理，寻找温度变化区域：；其中，表示红外特征图像中位置温度变化，是位置加热后的温度，是位置的背景温度；将晶圆红外特征图像颜色设定为灰度图，设定红外特征图像灰度图的基准颜色，选取晶圆红外特征图像中面积最大区域的灰度颜色为基准颜色，突出显示非基准颜色，对非基准颜色的位置划分框图，识别框图中非基准颜色的形状类型，标记框图中晶圆缺陷类型、晶圆缺陷具体位置，以及晶圆缺陷的面积；设定晶圆表面缺陷的影响权重阈值，当晶圆表面缺陷权重大于或等于权重阈值时，在检测流程中清除当前晶圆；当晶圆表面缺陷权重小于权重阈值时，晶圆进入下一检测流程，晶圆表面缺陷权重的计算公式为： ；其中，为晶圆表面裂痕的数量，为晶圆表面裂痕的影响系数，为晶圆表面裂痕的面积；为晶圆表面磨损的数量，为晶圆表面磨损的影响系数，为晶圆表面磨损的面积；对晶圆的内部进行超声检测，根据超声反射信号判断晶圆是否存在内部缺陷，生成存在内部缺陷晶圆的超声检测图像，通过构建神经网络，提取存在内部缺陷晶圆的缺陷数据；当晶圆完成超声扫描时，将存在内部缺陷的晶圆超声数据可视化，生成超声图像，并构建神经网络模型，对超声图像进行识别；构建卷积神经网络，提取超声图像的晶圆缺陷特征；所述晶圆缺陷特征包括晶圆内部分层的面积和数量、晶圆内部裂纹的面积和数量以及晶圆内部空洞的面积和数量；设定晶圆内部缺陷的影响权重，当晶圆内部缺陷权重大于或等于权重时，在检测流程清除当前晶圆；当晶圆内部缺陷权重小于权重时，晶圆进入下一检测流程，晶圆内部缺陷权重的计算方式如下: ；其中，是晶圆内部分层的影响权重；是晶圆内部裂纹的影响权重；是晶圆内部空洞的影响权重；生成晶圆质量检测报告，显示晶圆检测结果。

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