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龙图腾网恭喜上海矽弼半导体科技有限公司申请的专利一种探针台用的具有耐高压低漏电功能的载物台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119355311B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411477644.X，技术领域涉及：G01R1/04；该发明授权一种探针台用的具有耐高压低漏电功能的载物台是由赵连喜设计研发完成，并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种探针台用的具有耐高压低漏电功能的载物台在说明书摘要公布了：本发明涉及一种探针台用的具有耐高压低漏电功能的载物台，包括与气浮运动平台相连的支撑连接块和固定在支撑连接块上方的支撑底座，本发明涉及载物台技术领域。该一种探针台用的具有耐高压低漏电功能的载物台，通过吸盘作为信号层真空吸附连接在陶瓷层上，陶瓷层下绝缘螺丝连接有云母层，从而消除泄漏电流，有效克服了现有技术中待测器件的衬底中的电流通过探针测试载物台外泄，影响测试数据准确性的问题，在3千伏的高压下，也能起到低漏电和防击穿的作用，并且泄漏电低于50pA，支撑底座作为屏蔽层用于防止静电噪声对测量的影响，从而形成三轴结构，达到高压低漏电的目的。

本发明授权一种探针台用的具有耐高压低漏电功能的载物台在权利要求书中公布了：1.一种探针台用的具有耐高压低漏电功能的载物台，包括与气浮运动平台相连的支撑连接块1和固定在支撑连接块1上方的支撑底座10，其特征在于：所述支撑底座10的顶部通过peek螺丝套管组合固定连接有云母层3，所述云母层3的上方设置有加热盘，所述云母层3的顶部通过陶瓷固定块4固定连接有陶瓷层5，所述陶瓷层5的顶部固定连接有吸盘7，所述支撑底座10的一侧通过高压绝缘套管连接件8连接有高压绝缘套管9；高压绝缘套管9的内腔连通有与外界供电机构连通的线缆，线缆的一端连接有位于高压绝缘套管连接件8内腔的活动电连接头11，所述高压绝缘套管连接件8的内腔固定有与载物台用电单元连接的固定电连接头13，所述活动电连接头11与固定电连接头13插接形成电流通路，所述活动电连接头11的表面固定连接有固定环12，所述固定电连接头13的表面设置有用于对固定环12施加推力的挤压机构；所述高压绝缘套管连接件8的内腔开设有内凹槽19，所述内凹槽19的内腔固定连接有通过导线28与载物台地线串联的电磁铁21，所述内凹槽19的内腔滑动连接有滑动块23，所述滑动块23朝向电磁铁21的一侧固定连接有铁块22，所述电磁铁21的表面套设有复位弹簧20，所述复位弹簧20的一端与滑动块23固定连接，所述滑动块23远离电磁铁21的一侧固定连接有用于对固定环12进行限位的限位块24，所述限位块24的一侧开设有引导斜面25。

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