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龙图腾网恭喜浦曼托(常州)智能装备有限公司申请的专利半导体行业条形靶材翻转机械手获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222807094U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422182001.4，技术领域涉及：B25J15/02；该实用新型半导体行业条形靶材翻转机械手是由王健设计研发完成，并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体行业条形靶材翻转机械手在说明书摘要公布了：本实用新型公开了半导体行业条形靶材翻转机械手，具体涉及半导体制造技术领域，包括支撑架，支撑架的顶部固定设置有L形固定板，L形固定板的一端转动连接有滑环，支撑架的底部设置有翻转机构，翻转机构包括设置在支撑架底部的固定板，并且固定板的一侧固定设置有步进电机，步进电机的输出端固定设置有变频器，变频器的内部固定设置有转轴，固定板的两端均固定设置有支撑框，转轴的两端均贯穿支撑框并向支撑框内部延伸，转轴的两端均固定设置有主动齿轮，主动齿轮的一端与支撑框内壁转动连接。本实用新型能够实现多角度的翻转动作，并且加强了整体的平衡性和稳定性，确保翻转过程中无晃动。

本实用新型半导体行业条形靶材翻转机械手在权利要求书中公布了：1.半导体行业条形靶材翻转机械手，包括支撑架（1），其特征在于：所述支撑架（1）的顶部固定设置有L形固定板（2），所述L形固定板（2）的一端转动连接有滑环（3），所述支撑架（1）的底部设置有翻转机构；所述翻转机构包括设置在支撑架（1）底部的固定板（4），所述固定板（4）的一侧固定设置有步进电机（5），所述步进电机（5）的输出端固定设置有变频器（6），所述变频器（6）的内部固定设置有转轴（7），所述固定板（4）的两端均固定设置有支撑框（8），所述转轴（7）的两端均贯穿支撑框（8）并向支撑框（8）内部延伸，所述转轴（7）的两端均固定设置有主动齿轮（9），所述主动齿轮（9）的一端与支撑框（8）内壁转动连接，所述主动齿轮（9）的一侧啮合有从动齿轮（10），所述从动齿轮（10）的两端均与支撑框（8）内壁转动连接，所述从动齿轮（10）的一端固定设置有连接杆（11），所述连接杆（11）的外部固定设置有大链轮（12），所述大链轮（12）的表面啮合设置有链条（13），所述链条（13）的一侧啮合有小链轮（14）。

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