深圳劲嘉聚能科技有限公司于钦芳获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳劲嘉聚能科技有限公司申请的专利一种镀膜设备、系统及产品获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222809528U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421789741.8,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种镀膜设备、系统及产品是由于钦芳;罗万里设计研发完成,并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镀膜设备、系统及产品在说明书摘要公布了:本实用新型提供的一种、系统及产品,镀膜设备包括卷绕部、蒸发源和真空室,所述卷绕部和蒸发源设置于所述真空室内,所述卷绕部设置于真空室的上部、位于所述蒸发源的上方,所述蒸发源设置于所述真空室的下部、位于所述卷绕部的下方,所述真空室上设置有用于对所述蒸发源处进行抽真空的第一真空组和用于对所述卷绕部进行抽真空的第二真空组,所述第一真空组设置于所述真空室的下部,所述第二真空组设置于所述真空室的上部。本实用新型采用两套抽真空系统对真空室进行抽真空,第一真空组用来对蒸发源进行抽真空,第二真空组用来对卷绕系统进行抽真空,这样两套抽真空系统可以保证真空室内的真空值较好地达到预定的水平,从而获得高质量镀膜产品。
本实用新型一种镀膜设备、系统及产品在权利要求书中公布了:1.一种镀膜设备,包括卷绕部、蒸发源和真空室,其特征在于,所述卷绕部和蒸发源设置于所述真空室内,所述卷绕部设置于真空室的上部、位于所述蒸发源的上方,所述蒸发源设置于所述真空室的下部、位于所述卷绕部的下方,所述真空室上设置有用于对所述蒸发源处进行抽真空的第一真空组和用于对所述卷绕部进行抽真空的第二真空组,所述第一真空组设置于所述真空室的下部,所述第二真空组设置于所述真空室的上部。
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