荣芯半导体(淮安)有限公司王朝辉获国家专利权
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龙图腾网获悉荣芯半导体(淮安)有限公司申请的专利一种膜厚量测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222812350U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421777401.3，技术领域涉及：G01B11/06；该实用新型一种膜厚量测设备是由王朝辉;徐康;阚保国;陈伏宏设计研发完成，并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种膜厚量测设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种膜厚量测设备，其包括：设备主体，设备主体包括外壁和膜厚量测器件，外壁围合形成容纳空间，且外壁上设置有与容纳空间连通的开口，膜厚量测器件位于容纳空间中；接近传感器，设置于外壁远离容纳空间的一侧，用于对接近开口的物体进行检测；盖板，盖板的面积大于或等于开口的面积；致动器件，与盖板连接，用于带动盖板在第一位置和第二位置之间切换，盖板处于第一位置时打开开口，盖板处于第二位置时封闭开口；控制器，与接近传感器和致动器件连接，用于根据接近传感器的检测结果，控制致动器件带动盖板在第一位置和第二位置之间切换。根据本申请的膜厚量测设备可以显著降低设备主体内的颗粒污染。
本实用新型一种膜厚量测设备在权利要求书中公布了：1.一种膜厚量测设备，其特征在于，包括：设备主体，所述设备主体包括外壁和膜厚量测器件，所述外壁围合形成容纳空间，且所述外壁上设置有与所述容纳空间连通的开口，所述膜厚量测器件位于所述容纳空间中；接近传感器，设置于所述外壁远离所述容纳空间的一侧，用于对接近所述开口的物体进行检测；盖板，所述盖板的面积大于或等于所述开口的面积；致动器件，与所述盖板连接，用于带动所述盖板在第一位置和第二位置之间切换，所述盖板处于所述第一位置时打开所述开口，所述盖板处于所述第二位置时封闭所述开口；控制器，与所述接近传感器和所述致动器件连接，用于根据所述接近传感器的检测结果，控制所述致动器件带动所述盖板在所述第一位置和所述第二位置之间切换。
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