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龙图腾网获悉同济大学申请的专利一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118938605B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410993763.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统是由程鑫彬;薛栋柏;邓晓;李同保;王竣设计研发完成，并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统，属于微纳结构技术领域，包括激光器、第一反射镜、第一半波片、偏振分光棱镜、第二半波片、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜、条纹锁定系统、激光光束整形系统和干涉系统。本发明采用上述的一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统，光束通过光学系统后形成大面积、能量分布均匀的准直平顶光束，可实现占空比均匀性强的高性能光栅制造，满足高精度的纳米光栅加工需求。

本发明授权一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统在权利要求书中公布了：1.一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统，其特征在于：包括激光器、第一反射镜、第一半波片、偏振分光棱镜、第二半波片、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜、条纹锁定系统、激光光束整形系统和干涉系统；所述激光干涉光刻系统的光路结构如下：激光器发出的光依次通过第一反射镜、第一半波片、偏振分光棱镜，被偏振分光棱镜分为透射的P偏振光和反射的S偏振光；透射的P偏振光经过第二半波片被调节至S偏振，再依次经过第二反射镜、第三反射镜、条纹锁定系统、激光光束整形系统和干涉系统；反射的S偏振光依次经过第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜、条纹锁定系统、激光光束整形系统和干涉系统；所述条纹锁定系统包括声光调制器及控制电路，控制电路包括光电探测器、参考光栅、AD转换数据采集卡、上位机、数字IO卡和声光调制器驱动器；所述条纹锁定系统采用光电探测器对等周期参考光栅所产生的莫尔条纹扰动进行检测，将测量信号放大后通过AD转换数据采集卡输入到上位机，上位机对输入数据进行实时处理，分析并提取噪声信号，以噪声特性为依据设置声光调制器补偿信号频率差，并转换至二进制数字信号，通过数字IO卡传递至声光调制器驱动器，实现干涉条纹的条纹锁定；所述激光光束整形系统包括扩束光学系统和平顶光学系统；所述平顶光学系统包括平顶光学元件。

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