华侨大学汪坤朴获国家专利权
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龙图腾网获悉华侨大学申请的专利一种磨抛一体加工装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222806734U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421766772.1，技术领域涉及：B24B27/00；该实用新型一种磨抛一体加工装置是由汪坤朴;陆静;孙林林;施嘉怡;麦子宏设计研发完成，并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磨抛一体加工装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种磨抛一体加工装置，包括机台以及接合于机台的Y轴移动组件和Z轴移动组件，Y轴移动组件上连接有用于吸附晶圆的旋转吸附台，以使旋转吸附台能够在Y轴方向上往复移动，Z轴移动组件上连接有用于研磨晶圆的磨抛组件，以使磨抛组件能够在Z轴方向上往复移动，磨抛组件包括相接合的电主轴和磨抛轮，电主轴能够驱动磨抛轮旋转从而对晶圆进行研磨，磨抛轮包括第一研磨轮和第二研磨轮，第一研磨轮连接在第二研磨轮底部，其半径小于第二研磨轮的半径，且两者的半径差大于旋转吸附台的半径。本申请能够使晶圆的粗磨减薄和精磨加工在同一个工位上进行，较少晶圆转移过程，简化加工设备。
本实用新型一种磨抛一体加工装置在权利要求书中公布了：1.一种磨抛一体加工装置，包括机台以及接合于所述机台的Y轴移动组件和Z轴移动组件，所述Y轴移动组件上连接有用于吸附晶圆的旋转吸附台，以使所述旋转吸附台能够在Y轴方向上往复移动，所述Z轴移动组件上连接有用于研磨晶圆的磨抛组件，以使所述磨抛组件能够在Z轴方向上往复移动，其特征在于：所述磨抛组件包括相接合的电主轴和磨抛轮，所述电主轴能够驱动所述磨抛轮旋转从而对晶圆进行研磨，所述磨抛轮包括第一研磨轮和第二研磨轮，所述第一研磨轮连接在所述第二研磨轮底部，其半径小于所述第二研磨轮的半径，且两者的半径差大于所述旋转吸附台的半径。
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