恭喜恩特格里斯公司B·卡多佐获国家专利权
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龙图腾网恭喜恩特格里斯公司申请的专利固体汽化器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114959643B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210179970.7,技术领域涉及:C23C16/448;该发明授权固体汽化器是由B·卡多佐;J·托马斯设计研发完成,并于2022-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本固体汽化器在说明书摘要公布了:汽化器容器包括一或多个试剂支撑面板,所述试剂支撑面板在竖直定向上,例如当填充所述汽化器容器时,用作所述容器的内部空间的分隔物,而当旋转到水平定向时,所述面板支撑置于由所述面板和所述容器的内壁形成的一或多个腔室中的可汽化固体材料并能够将热量转移到所述固体材料。所述腔室使得填充有所述可汽化固体材料的任何或所有腔室提供空隙空间,以允许所述固体材料汽化并使气体在加热时移动通过所述汽化器容器,允许所述固体材料高效汽化,并进一步允许由所述固体材料产生的蒸汽移动至所述容器的出口,在所述出口处可作为工艺的一部分提供所述蒸汽。
本发明授权固体汽化器在权利要求书中公布了:1.一种用于可汽化固体源材料的汽化器容器,其包含:汽化器容器主体,其包括限定内部容积的内表面;入口,其配置用于将载气引入所述汽化器容器的所述内部容积,使所述载气流过所述内部容积以与所述可汽化固体源材料接触从而形成载气固体源蒸汽混合物;和出口,其配置成允许从所述汽化器容器中排出所述载气固体源蒸汽混合物;以及至少一个导热试剂支撑面板,其位于所述内部容积内并在所述内表面处通过导热接头接合到所述汽化器容器主体,当所述汽化器容器主体在填充定向上定向时所述至少一个导热试剂支撑面板中的每一个在第一竖直方向上延伸,而当处于第二使用定向时,所述至少一个导热试剂支撑面板水平延伸以支撑所述可汽化固体源材料的一部分,其中所述至少一个导热试剂支撑面板中的每一个通过多个导热接头接合到所述汽化器容器主体的所述内表面,其中在所述多个导热接头之间,在所述导热试剂支撑面板与所述汽化器容器主体的所述内表面之间存在间隙,并且所述至少一个导热试剂支撑面板由金属板形成。
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