恭喜中国电子科技集团公司第四十八研究所余洋获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种晶片装载腔结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114023678B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111302436.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶片装载腔结构是由余洋;王宝财;王学仕;杨金设计研发完成，并于2021-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片装载腔结构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶片装载腔结构，包括腔体，所述腔体上设有前门和后门，所述腔体底部设有进气口且顶部设有单向出气口，所述进气口连接有气体过滤器，所述前门配设有前门驱动件，所述后门配设有后门驱动件。本发明有利于维持装载室内较低的氧含量水平，可以进行气体清洗。
本发明授权一种晶片装载腔结构在权利要求书中公布了：1.一种晶片装载腔结构，包括腔体1，其特征在于：所述腔体1上设有前门2和后门3，所述腔体1底部设有进气口11且顶部设有单向出气口12，所述进气口11连接有气体过滤器4，所述前门2配设有前门驱动件21，所述后门3配设有后门驱动件31；在后门3处于关闭状态时，才打开前门2；前门2关闭后，清洗气体经过气体过滤器4过滤、净化后通过进气口11进入腔体1内，腔体1内的气体可以通过顶部的单向出气口12排出，腔体1内通入清洗气体进行清洗一段时间之后，再打开后门3；所述前门2与所述腔体1铰接，所述前门驱动件21为伸缩式驱动件，前门驱动件21一端与所述腔体1铰接，另一端与所述前门2铰接，所述前门2下部延伸至所述腔体1下方，前门2下部配设有伸缩式止动件22，所述伸缩式止动件22上设有止动轮23，前门2关闭后，伸缩式止动件22伸出，带动止动轮23上升，止动轮23与前门2下部紧贴，从而实现对前门2的压紧。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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