恭喜卡尔蔡司SMT有限责任公司A.温克勒获国家专利权
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龙图腾网恭喜卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利测试干涉仪的衍射光学元件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114502914B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080068030.X，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权测试干涉仪的衍射光学元件是由A.温克勒;M.谢德;H.M.斯蒂潘;J.赫茨勒;F.埃泽特设计研发完成，并于2020-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本测试干涉仪的衍射光学元件在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于测量光学表面102的形状的测试干涉仪100的衍射光学元件10，其包括：衍射形状测量结构16，其布置在衍射光学元件的使用表面14上并且被配置为当衍射光学元件布置在测试干涉仪中时生成用于照射待测量的光学表面的测试波122；以及至少一个测试场18，被配置为用于测量定位在测试场内的测试结构的多个轮廓性质，轮廓性质表征相对于使用表面横向延伸的测试结构的轮廓并且包括测试结构的轮廓的侧翼角、测试结构的轮廓深度、和在测试结构的沟槽形状的轮廓的基部区域中出现的微沟槽的深度。测试场布置在使用表面的一个位置处而不是衍射形状测量结构，使得测试场由多个衍射形状测量结构围绕。
本发明授权测试干涉仪的衍射光学元件在权利要求书中公布了：1.一种用于测量光学表面的形状的测试干涉仪的衍射光学元件，包括：-衍射形状测量结构，布置在所述衍射光学元件的使用表面上，并且被配置为在所述衍射光学元件布置在所述测试干涉仪中时生成用于照射待测量的光学表面的测试波，以及-至少一个测试场，被配置为用于测量包含在所述测试场中的测试结构的多个轮廓性质，其中，所述轮廓性质表征相对于所述使用表面横向延伸的所述测试结构的轮廓线并且包括所述测试结构的轮廓线的侧翼角、所述测试结构的轮廓深度、和在所述测试结构的沟槽形状的轮廓的底部区域中出现的微沟槽的深度，并且其中，所述测试场布置在所述使用表面的一个位置处，而不是所述衍射形状测量结构，使得所述测试场由多个所述衍射形状测量结构围绕。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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