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龙图腾网恭喜昆山普乐斯电子科技有限公司;苏州优维毕光电科技有限公司;苏州艾斯林自动化科技有限公司申请的专利一种等离子自动清洗设备及其工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111687144B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010661208.3，技术领域涉及：B08B7/00；该发明授权一种等离子自动清洗设备及其工作方法是由郭峰;刘向东;彭小巧;王宇;国际瑞设计研发完成，并于2020-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子自动清洗设备及其工作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种等离子自动清洗设备，属于半导体加工技术领域；其包括机架、设置在机架上的清洗机构、分设在清洗机构两侧外的送料装置、分设在送料装置与清洗机构之间的储料装置、与机架滑动连接的回料装置以及罩设在外周的罩壳，所述送料装置能够将物料板从储料装置内推送至清洗机构内，所述回料装置能够将清洗后的物料板推送回储料装置内；本发明提供了一种等离子自动清洗设备及其工作方法，能够实现送料、清洗、回料的自动化操作，提高清洗效率，降低人工作业量，降低人工成本，提高经济效益。

本发明授权一种等离子自动清洗设备及其工作方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子自动清洗设备，其特征在于：包括机架（1）、设置在机架上的清洗机构（2）、分设在清洗机构两侧外的送料装置（3）、分设在送料装置与清洗机构之间的储料装置（4）、与机架滑动连接的回料装置（5）以及罩设在外周的罩壳（6），所述送料装置能够将物料板（7）从储料装置内推送至清洗机构内，所述回料装置能够将清洗后的物料板推送回储料装置内；所述清洗机构包括设置在机台上的清洗腔盘（8）、与机架滑动连接的转动座（9）、与转动座转动铰接的转动支撑梁（10）、设置在转动支撑梁上的盖壳（11）以及能够限制转动支撑梁转动的限位装置（12），所述盖壳设置在清洗腔盘上方，所述清洗腔盘内设有能够允许物料板滑动的清洗腔滑槽（13），所述盖壳能够密封盖设在清洗腔盘上；所述送料装置包括设置在机架上的推料机构（19）以及推料驱动机构（20），所述推料机构包括导向座（21）、与导向座滑动连接的传送板带（22）、设置在传送板带前端的推料头（23）以及导向轮（24），所述传送板带另一端与推料驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构，所述导向轮与固定座通过一弹性连杆（25）连接，所述弹性连杆一端与固定座转动连接，所述弹性连杆另一端与导向轮转动连接，所述弹性连杆中部与固定座之间通过弹簧（26）连接；所述推料头包括推料导向板（27）以及设置在推料导向板前方的推块（28），所述推块上设有推料豁口（29），所述推料导向板上设有弯曲的加强槽（30），所述加强槽的延伸方向与推料方向平行，所述加强槽的下表面与传送板带贴合；所述推料导向板相邻的两棱边经倒角（31）过渡连接，所述推料豁口呈梯形设置且外侧的竖向距离大于内侧的竖向距离。

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