恭喜浙江赛瑾半导体科技有限公司李闯获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江赛瑾半导体科技有限公司申请的专利一种具有保护性限位装置的晶圆盒获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119673833B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510185418.2,技术领域涉及:H01L21/673;该发明授权一种具有保护性限位装置的晶圆盒是由李闯;童明设计研发完成,并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有保护性限位装置的晶圆盒在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体载具技术领域,特别涉及一种具有保护性限位装置的晶圆盒,其包括底板,晶圆储存盒,盒盖,限位组件。所述限位组件包括限位座,抵顶组件,转动片,限位架,转轮。所述限位座包括连接横杆,连接臂,抵顶挡片。所述抵顶组件包括连接部,抵顶凸起,连杆,拉伸片,加强筋。与现有技术相比,本发明通过设置所述晶圆储存盒插设晶圆片,设置所述限位组件对晶圆片进行抵顶,有效防止晶圆片损伤。同时通过设置所述抵顶组件,使得抵顶作用具有保护限度,从而防止刚性抵顶对晶圆片的损坏。通过设置用于装载6寸晶圆的所述晶圆储存盒,通过所述固定部与固定组件的配合作用,使得能够在8寸晶圆生产线上运送6寸晶圆。
本发明授权一种具有保护性限位装置的晶圆盒在权利要求书中公布了:1.一种具有保护性限位装置的晶圆盒,其特征在于:所述具有保护性限位装置的晶圆盒包括一个底板,一个设置在所述底板上的晶圆储存盒,一个扣合在所述底板上的盒盖,以及一个设置在所述盒盖内的限位组件,所述限位组件包括一个固定在所述盒盖上的限位座,一个设置在所述限位座上的抵顶组件,两个设置在所述限位座上的转动片,一个连接在所述转动片上的限位架,以及一个设置在所述限位架上的转轮,所述限位座包括一个连接横杆,两个垂直于所述连接横杆设置的连接臂,以及四组设置在所述连接臂上的抵顶挡片,所述连接横杆的两端通过紧固件固定在所述盒盖的顶部,并使得所述连接横杆与所述盒盖的顶面平行,所述连接臂为垂直于所述连接横杆设置,并朝向远离所述盒盖的顶面延伸,且所述连接臂平行于所述盒盖的侧壁,所述抵顶组件包括两个分别设置在所述连接臂上的连接部,两个与所述连接部连接的抵顶凸起,一个设置在两个所述抵顶凸起之间的连杆,两道设置在所述连杆两侧的拉伸片,以及多道设置在所述连接部与连杆上的加强筋,所述连接部垂直于所述连接臂设置,且两个所述连接部相对延伸,每个所述抵顶凸起均为一个U型结构,且每个所述抵顶凸起的两端分别与所述连接部和连杆连接,顶部朝向所述盒盖的侧壁延伸,并在无外力作用下,所述抵顶凸起的顶点垂直抵顶在所述盒盖的侧壁上,每个所述拉伸片均为一个平行于所述抵顶凸起的抵顶方向而延伸出的片膜状结构,所述拉伸片一端连接在所述连杆上,另一端垂直连接在所述连接臂上,在垂直于所述拉伸片与抵顶凸起方向上,两个所述拉伸片的自由边形成一条弧线,该弧线相对于所述抵顶凸起的曲率为负,所述拉伸片位于所述抵顶组件的远离所述盒盖侧壁的一侧,同时还填充在所述抵顶凸起的U型结构的内部,所述加强筋为条状凸起,设置在所述抵顶组件的靠近所述盒盖侧壁的另一侧,所述拉伸片的强度为小于晶圆片的结构强度。
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