恭喜天通瑞宏科技有限公司陆斌杰获国家专利权
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龙图腾网恭喜天通瑞宏科技有限公司申请的专利一种晶圆键合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119601470B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510143351.6，技术领域涉及：H01L21/50；该发明授权一种晶圆键合方法是由陆斌杰;傅泷塬;高娇;徐晓聪;归欢焕设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆键合方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体技术领域，具体涉及一种晶圆键合方法，包括：在键合腔室中放置活性炭片；采用活化枪照射所述活性炭片，以使所述活性炭片表面引入活性官能团并使活性炭片的空隙结构改变；将所述活性炭片静置预设时间后，从键合腔室中取出活性炭片；在键合腔室内对第一晶圆与第二晶圆进行键合，得到键合晶圆。本申请实施例能够大幅改善键合腔室的清洁度，有效提升晶圆键合良率。
本发明授权一种晶圆键合方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合方法，其特征在于，包括：在键合腔室中放置活性炭片；具体的，在键合腔室的下载台表面设置第一活性炭片；在键合腔室的上静电吸盘上铺设第二活性炭片；采用活化枪照射所述活性炭片，以使所述活性炭片表面引入活性官能团并使活性炭片的空隙结构改变；将所述活性炭片静置预设时间后，从键合腔室中取出活性炭片；在键合腔室内对第一晶圆与第二晶圆进行键合，得到键合晶圆。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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