恭喜烟台魔技纳米科技有限公司史强获国家专利权
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龙图腾网恭喜烟台魔技纳米科技有限公司申请的专利一种基于多焦点控制的高速并行激光三维光子引线键合方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119387845B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411980396.0,技术领域涉及:B23K26/21;该发明授权一种基于多焦点控制的高速并行激光三维光子引线键合方法及系统是由史强;朱林伟设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于多焦点控制的高速并行激光三维光子引线键合方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提供一种基于多焦点控制的高速并行激光三维光子引线键合方法及系统,属于硅光芯片生产技术领域,所述方法包括步骤如下:确定目标加工平面上N个焦点的加工轨迹,将每条加工轨迹均分成M段,从每一段上取出焦点的位置点,按照加工方向构建M×N的位置点矩阵;从位置点矩阵中依次取出每行的位置点进行复振幅编码,得到M个全息相位图;构建含有空间光调制器的飞秒激光加工系统,并通过空间光调制器动态加载M个全息相位图,得到N个焦点同时在目标加工平面进行光波导加工的N条加工轨迹。本发明通过改变焦点数量、每个焦点的强度以及每个焦点的移动路径来控制光波导的数量、厚度和路径,减少了硅光芯片生产过程中迭代次数。
本发明授权一种基于多焦点控制的高速并行激光三维光子引线键合方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于多焦点控制的高速并行激光三维光子引线键合方法,其特征在于,包括如下步骤:S1.确定目标加工平面上N个焦点的加工轨迹,将每条加工轨迹均分成M段,从每一段上取出焦点的位置点,按照加工方向构建M×N的位置点矩阵;S2.从位置点矩阵中依次取出每行的位置点进行复振幅编码,得到M个全息相位图;S2具体如下:S21.从位置点矩阵中按照加工方向取出每个焦点的起始位置点,得到当前一组位置点;S22.将当前一组位置点进行复振幅编码,得到一个全息相位图;S22具体如下:SA1.判断各焦点的强度是否相等;若是,进入S221;若否,进入SA2;SA2.获取各焦点的强度比,根据各焦点的强度比对位置点对应的纯相位分布中振幅进行设置;S221.获取当前一组位置点的坐标,对每个位置点对应的焦点通过如下公式计算纯相位分布: 其中,是波长;A是振幅;是孔径半径;是物镜浸没介质的折射率;,是物镜后焦面的位置坐标;,是在焦平面的x、y方向上,与无相位调制的物镜原焦斑相比的相对位移分量;S222.根据每个焦点在位置点的纯相位分布通过如下公式计算出入射场的复振幅分布方程; 其中,n是焦点的序号,N是焦点的数量,i是虚数单位,m是拓扑电荷数;S23.判断位置点矩阵中各行的位置点是否编码完毕;若是,进入S3;若否,进入S24;S24.从位置点矩阵中按照加工方向取出每个焦点在下一行的位置点作为当前一组位置点,返回S22;S3.构建含有空间光调制器的飞秒激光加工系统,并通过空间光调制器动态加载M个全息相位图,得到N个焦点同时在目标加工平面进行光波导加工的N条加工轨迹。
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