恭喜深圳中宝新材科技有限公司李盛伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳中宝新材科技有限公司申请的专利一种AI驱动的键合金丝工艺参数优化方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119272011B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411765953.7,技术领域涉及:G06F18/20;该发明授权一种AI驱动的键合金丝工艺参数优化方法及系统是由李盛伟;李妍琼设计研发完成,并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种AI驱动的键合金丝工艺参数优化方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种AI驱动的键合金丝工艺参数优化方法及系统,涉及半导体封装技术领域,包括:建立键合工艺的双通道深度学习网络;双通道深度学习网络包括动态参数优化通道和静态参数优化通道;将实时采集的键合工艺动态数据和预设的键合工艺静态数据输入动态参数优化通道,得到动态工艺评价指标;将预设的键合工艺静态数据输入静态参数优化通道,得到静态工艺评价指标;通过自适应权重融合算法将动态工艺评价指标和静态工艺评价指标进行融合,得到综合评价指标,并优化键合工艺参数。本发明通过双通道深度学习网络架构整合动静态数据,并结合自适应权重融合算法实现了键合工艺参数的智能化精确优化,显著提升了键合质量和工艺稳定性。
本发明授权一种AI驱动的键合金丝工艺参数优化方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种AI驱动的键合金丝工艺参数优化方法,其特征在于,包括:建立键合工艺的双通道深度学习网络;所述双通道深度学习网络包括动态参数优化通道和静态参数优化通道;将实时采集的键合工艺动态数据和预设的键合工艺静态数据输入所述动态参数优化通道,得到动态工艺评价指标;将预设的键合工艺静态数据输入所述静态参数优化通道,得到静态工艺评价指标;通过自适应权重融合算法将所述动态工艺评价指标和所述静态工艺评价指标进行融合,得到综合评价指标,根据所述综合评价指标优化键合工艺参数;所述键合工艺动态数据包括键合力、超声功率、键合时间、第一键合点变形率、第二键合点变形率、剪切强度、金丝弧高、设备工作时长,以及设备维护周期;所述键合工艺静态数据包括金丝直径、金丝硬度、焊盘金属化层厚度、金属化层硬度、引线框架材料强度、焊盘中心距离、工艺环境温度,以及环境湿度;所述动态参数优化通道基于LSTM深度神经网络构建,包括输入层、LSTM隐藏层、全连接层,以及评价校正层;其中,所述输入层接收所述键合工艺动态数据和键合工艺静态数据;所述LSTM隐藏层对所述键合工艺动态数据和键合工艺静态数据进行时序特征提取,输出特征状态向量;所述全连接层将LSTM隐藏层输出转化为初始评价值;所述评价校正层包括变形率校正单元和质量指标校正单元,依次对初始动态参数进行两级修正,得到评价校正层和动态工艺评价指标;所述静态参数优化通道包括材料参数处理单元和环境参数处理单元;其中,所述材料参数处理单元根据键合金丝和焊盘材料参数计算材料基准指标;所述环境参数处理单元结合工艺环境参数对材料基准指标进行修正,得到所述静态工艺评价指标。
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