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龙图腾网恭喜上海晶邝半导体科技有限公司申请的专利一种芯片制造用气体的过滤分离系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119186212B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411686780.X，技术领域涉及：B01D53/26；该发明授权一种芯片制造用气体的过滤分离系统是由田素利设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种芯片制造用气体的过滤分离系统在说明书摘要公布了：本申请涉及气体过滤分离的技术领域，提供一种芯片制造用气体的过滤分离系统，包括原料储罐、过滤机构、滤料再生机构，过滤机构包括依次连通的颗粒过滤器、吸附过滤器和干燥器组，原料储罐与颗粒过滤器相连通，干燥器组包括进气主管、出气主管、控流组件和多个干燥过滤器，进气主管一端与吸附过滤器相连通，多个干燥过滤器并联设置，控流组件用于控制不同的干燥过滤器连通至颗粒过滤器和出气主管之间；滤料再生机构包括相互连通的加热罐、第二驱动源和热气吹扫组件，热气吹扫组件对应干燥过滤器设置有多组，且热气吹扫组件位于干燥过滤器内。本申请能够缩短停机时间的同时，减少外界杂质对特种气体的二次污染，减轻过滤系统的过滤负担。

本发明授权一种芯片制造用气体的过滤分离系统在权利要求书中公布了：1.一种芯片制造用气体的过滤分离系统，其特征在于，包括：原料储罐（1），过滤机构，包括依次连通的颗粒过滤器（2）、吸附过滤器（3）和干燥器组（4），所述原料储罐（1）与所述颗粒过滤器（2）相连通，所述干燥器组（4）包括进气主管（41）、出气主管（42）、控流组件（43）和多个干燥过滤器（44），所述进气主管（41）一端与所述吸附过滤器（3）相连通，多个所述干燥过滤器（44）并联设置，所述控流组件（43）用于控制不同的干燥过滤器（44）连通至所述颗粒过滤器（2）和出气主管（42）之间；第一驱动源（5），连通于所述原料储罐（1）与所述颗粒过滤器（2）之间用于驱动所述原料储罐（1）内气体朝所述颗粒过滤器（2）内流动；滤料再生机构（6），包括相互连通的加热罐（61）、第二驱动源（62）和热气吹扫组件（63），所述热气吹扫组件（63）对应所述干燥过滤器（44）设置有多组，且所述热气吹扫组件（63）位于所述干燥过滤器（44）内，所述加热罐（61）连通有供气管（614），所述第二驱动源（62）用于驱动所述加热罐（61）内气体流向所述热气吹扫组件（63）；集气储罐（7），所述集气储罐（7）与所述出气主管（42）相连通；所述供气管（614）远离所述加热罐（61）的一端与所述集气储罐（7）相连通，所述供气管（614）上设置有第三驱动源（64），所述第三驱动源（64）用于驱动所述集气储罐（7）内气体朝所述加热罐（61）内流动；其中，所述干燥过滤器（44）包括干燥罐（441）、液冷管（442），以及设置于所述干燥罐（441）内的滤料盛装架（443）；所述干燥罐（441）上连通有排气管（444）和排液管（445），所述排液管（445）上设置有排气阀（4441），所述排液管（445）上设置有排液阀（4451）；所述液冷管（442）盘绕于所述滤料盛装架（443）外围，且液冷管（442）两端均穿出所述干燥罐（441），所述干燥罐（441）还连通有真空泵（10）；调温罐（8），所述调温罐（8）上穿设有换热管（83）；所述调温罐（8）上连通有调温进管（81）和调温排管（82），所述调温进管（81）与所述集气储罐（7）相连通，所述调温进管（81）上还设置有测温计（9）;所述控流组件（43）包括进气分管（431）、出气分管（432）、设置于所述进气分管（431）上的第一通断阀（433），以及设置于所述出气分管（432）上的第二通断阀（434），各所述干燥过滤器（44）上均连通有所述进气分管（431）和所述出气分管（432），且各所述进气分管（431）远离所述干燥过滤器（44）的一端均与所述进气主管（41）相连通，各所述出气分管（432）远离所述干燥过滤器（44）的一端均与所述出气主管（42）相连通;所述加热罐（61）包括加热罐体（611）和设置于所述加热罐体（611）内的电磁加热器（612）；热气吹扫组件（63）包括布气网管（631）和连通于所述布气网管（631）上的多个喷气头（632），所述布气网管（631）与所述加热罐（61）相连通，且所述布气网管（631）位于所述滤料盛装架（443）下方，所述喷气头（632）朝向所述滤料盛装架（443）设置。

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