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龙图腾网恭喜南京埃米仪器科技有限公司申请的专利一种晶圆吸盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119170555B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411677042.9，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种晶圆吸盘是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆吸盘在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆吸盘，包括盘体，所述盘体包括吸附面，所述吸附面为平面，吸附面与晶圆接触面贴合；所述吸附面的中心开设连通气管的中心圆孔，自中心圆孔向外间隔开设多条同心的环形沟槽，自中心圆孔沿径向均布设置N个截面呈“三角形”的沟槽，且三角形沟槽与所有的环形沟槽均相交，盘体粘接金属托盘，气管固定在金属托盘上并连通中心圆孔。优点，本发明晶圆吸盘，金属托盘作为刚性支撑，解决了普通吸盘例如类似马桶抽，不具有刚性支撑，在吸力较大、抽气速度快时容易发生吸盘变扁、边缘无法吸附等问题；同时采用等流量原理设计了吸气通道，使得吸气时阻力最小，因而速度快压力大。

本发明授权一种晶圆吸盘在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸盘，其特征在于，包括盘体，所述盘体包括吸附面，所述吸附面为平面，吸附面与晶圆接触面贴合；所述吸附面的中心开设连通气管的中心圆孔（8），自中心圆孔（8）向外间隔开设多条同心的环形沟槽（2），自中心圆孔（8）沿径向均布设置N个截面呈“三角形”的沟槽，且三角形沟槽（3）与所有的环形沟槽（2）均相交；其中，三角形沟槽（3）在环形沟槽（2）中的内弧长为A，已知三角形沟槽（3）的三角形界面底面弧线的长度为，根据弧长与半径的比例关系，可知： （1） （2）R1为吸附面的半径，R0为中心圆孔（8）的半径，R为在吸附面上作与中心圆孔（8）同心的圆形辅助线（4）的半径，N为三角形沟槽（3）的数量，R0＜R＜R1；根据等流量原理，从三角形沟槽（3）流入环形沟槽（2）的流量相等，环形沟槽（2）的宽度等于三角形沟槽（3）在环形沟槽（2）中的内弧长为A，即： （3）。

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