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恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王玉坤获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利用于低相干干涉检测的消色差F-theta远心扫描场镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119376067B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411526229.9,技术领域涉及:G02B13/00;该发明授权用于低相干干涉检测的消色差F-theta远心扫描场镜是由王玉坤;王孝坤;王大成;聂久程;杨程亮;薛栋林;张学军设计研发完成,并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

用于低相干干涉检测的消色差F-theta远心扫描场镜在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于低相干干涉检测的消色差F‑theta远心扫描场镜,涉及扫描场镜光学设计技术领域。本发明的消色差F‑theta远心扫描场镜,包括:从入瞳位置起,沿光轴方向依次设置的前镜组和后镜组;前镜组包括沿光轴方向依次设置的:第一透镜、第二透镜、第三透镜;后镜组包括沿光轴方向依次设置的:第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜。本发明的消色差F‑theta远心扫描场镜,在色差控制与几何像差校正方面,前后镜组相对独立,综合作用使得全系统获得更好的消色差以及像差校正效果。在F‑theta畸变平衡方面,前后镜组相互配合,最大限度地实现了F‑theta畸变抵消。

本发明授权用于低相干干涉检测的消色差F-theta远心扫描场镜在权利要求书中公布了:1.用于低相干干涉检测的消色差F-theta远心扫描场镜,其特征在于,包括:从入瞳位置起,沿光轴方向依次设置的前镜组和后镜组;前镜组包括沿光轴方向依次设置的:第一透镜1、第二透镜2、第三透镜3;其中,第一透镜1为正光焦度透镜,第二透镜2为负光焦度透镜,第三透镜3为正光焦度透镜;后镜组包括沿光轴方向依次设置的:第四透镜4、第五透镜5、第六透镜6、第七透镜7;其中,第四透镜4为正光焦度透镜,第五透镜5为负光焦度透镜,第六透镜6为正光焦度透镜,第七透镜7为正光焦度透镜;沿光线入射方向,第一透镜1的入光面及出光面依次为第1曲面和第2曲面,第二透镜2的入光面及出光面依次为第3曲面和第4曲面,第三透镜3的入光面及出光面依次为第5曲面和第6曲面,第四透镜4的入光面及出光面依次为第7曲面和第8曲面,第五透镜5的入光面及出光面依次为第9曲面和第10曲面,第六透镜6的入光面及出光面依次为第11曲面和第12曲面,第七透镜7的入光面及出光面依次为第13曲面和第14曲面;第1曲面的曲率半径为-33.0±5%mm,第2曲面的曲率半径为-32.0±5%mm;第3曲面的曲率半径为-33.0±5%mm,第4曲面的曲率半径为-70.0±5%mm;第5曲面的曲率半径为-2450.0±5%mm,第6曲面的曲率半径为-110.0±5%mm;第7曲面的曲率半径为3700.0±5%mm,第8曲面的曲率半径为-160.0±5%mm;第9曲面的曲率半径为-210.0±5%mm,第10曲面的曲率半径为325.0±5%mm;第11曲面的曲率半径为725.0±5%mm,第12曲面的曲率半径为-230.0±5%mm;第13曲面的曲率半径为390.0±5%mm,第14曲面的曲率半径为-895.0±5%mm;第一透镜1的中心厚度d1为15.0±5%mm,第二透镜2的中心厚度d2为14.0±5%mm,第三透镜3的中心厚度d3为15.5±5%mm,第四透镜4的中心厚度d4为22.5±5%mm,第五透镜5的中心厚度d5为7.0±5%mm,第六透镜6的中心厚度d6为22.0±5%mm,第七透镜7的中心厚度d7为17.0±5%mm;第一透镜1与第二透镜2的空气间隔在光轴上的距离为10.0±5%mm,第二透镜2与第三透镜3的空气间隔在光轴上的距离为5.0±5%mm,第三透镜3与第四透镜4的空气间隔在光轴上的距离为90.0±5%mm,第四透镜4与第五透镜5的空气间隔在光轴上的距离为9.0±5%mm,第五透镜5与第六透镜6的空气间隔在光轴上的距离为9.0±5%mm,第六透镜6与第七透镜7的空气间隔在光轴上的距离为5.0±5%mm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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