恭喜中科芯微智能装备(沈阳)有限公司朱玉东获国家专利权
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龙图腾网恭喜中科芯微智能装备(沈阳)有限公司申请的专利传动装置、真空机械手及真空机械手的传动方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118952179B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411178755.0,技术领域涉及:B25J9/04;该发明授权传动装置、真空机械手及真空机械手的传动方法是由朱玉东;常志勇;董宏达;侯双明设计研发完成,并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本传动装置、真空机械手及真空机械手的传动方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种传动装置、真空机械手及真空机械手的传动方法,真空机械手包括第一摆臂、第二摆臂以及晶圆拿取手,传动装置包括:第一传动机构设于第一摆臂内且沿第一摆臂的长度方向设置,第一传动机构的其中一个端部延伸出第一摆臂并与第二摆臂的其中一个端部连接;第二传动机构设于第一摆臂内;第三传动机构设于第二摆臂内且沿第二摆臂的长度方向设置,第三传动机构的其中一个端部与第二传动机构连接,第三传动机构的另一个端部延伸出第二摆臂的另一个端部并与晶圆拿取手连接。第一摆臂、第二摆臂、晶圆拿取手可实现无限回转,因没有转动限制,无需顺时针旋转一定角度后再逆时针回转至初始位置,加快了生产节拍,实现了晶圆拿取手的无限回转。
本发明授权传动装置、真空机械手及真空机械手的传动方法在权利要求书中公布了:1.一种传动装置,应用于真空机械手,所述真空机械手包括第一摆臂、第二摆臂以及晶圆拿取手,其特征在于,所述传动装置包括:第一传动机构,设于所述第一摆臂内,沿所述第一摆臂的长度方向设置,所述第一传动机构的其中一个端部延伸出所述第一摆臂并与所述第二摆臂的其中一个端部连接;第二传动机构,设于所述第一摆臂内;第三传动机构,设于所述第二摆臂内,沿所述第二摆臂的长度方向设置,所述第三传动机构的其中一个端部与所述第二传动机构连接,所述第三传动机构的另一个端部延伸出所述第二摆臂的另一个端部并与所述晶圆拿取手连接;所述第二传动机构包括第二主动轮、第二从动轮以及第二传动带,所述第一传动机构包括第一主动轮、第一从动轮以及第一传动带,所述第一主动轮可转动地设于所述第二主动轮,所述第二从动轮上凸伸形成有连接台,所述第一从动轮呈筒状且可转动地套设于所述连接台上,所述第一摆臂另一个端部的内壁对应所述第二从动轮设有凸台,所述第二从动轮可转动地套设于所述凸台上;所述第三传动机构包括第三主动轮、第三从动轮以及第三传动带,所述第三主动轮穿过所述第一从动轮并与所述第二从动轮连接,所述第三主动轮上凸伸形成有延伸部,所述延伸部伸出所述第二摆臂的其中一个端部外,并伸入所述第一从动轮内且与所述连接台固定连接。
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