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龙图腾网恭喜江苏瑞芯微电子有限公司申请的专利一种半导体晶圆外径检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222820843U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421887694.0，技术领域涉及：B65G47/91；该实用新型一种半导体晶圆外径检测装置是由毛雯琪;王菲菲;刘扬扬;王磊设计研发完成，并于2024-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆外径检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体晶圆外径检测装置，包括底座和支撑架，所述底座的顶端安装有支撑架，所述支撑架一侧的底座顶端安装有第一皮带输送机，所述第一皮带输送机一侧的底座顶端安装有第二皮带输送机，所述支撑架的外壁上设置有活动架，所述活动架的外壁上安装有第二电机，所述第二电机一侧的活动架内部活动安装有连接轴，且第二电机的输出端与连接轴相连接，所述连接轴一侧的活动架内部对称设置有弧形齿轮。本实用新型不仅实现了检测装置便捷的角度调节式检测半导体晶圆，方便了进行上下高度调节检测，方便了对半导体晶圆外径进行精确检测，而且方便了对批量输送的半导体晶圆进行检测，提高了半导体晶圆批量检测的效率。

本实用新型一种半导体晶圆外径检测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆外径检测装置，包括底座1和支撑架2，其特征在于：所述底座1的顶端安装有支撑架2，所述支撑架2一侧的底座1顶端安装有第一皮带输送机3，所述第一皮带输送机3一侧的底座1顶端安装有第二皮带输送机4，所述支撑架2的外壁上设置有活动架5，所述活动架5的外壁上安装有第二电机11，所述第二电机11一侧的活动架5内部活动安装有连接轴12，且第二电机11的输出端与连接轴12相连接，所述连接轴12一侧的活动架5内部对称设置有弧形齿轮14，所述弧形齿轮14靠近活动架5的一侧皆安装有支撑轴15，且弧形齿轮14皆经过支撑轴15与活动架5活动连接，所述弧形齿轮14一侧的连接轴12表面皆套装有主动齿轮13，且主动齿轮13皆与弧形齿轮14相互啮合，并且两组弧形齿轮14之间安装有检测摄像机16。

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