恭喜青岛思锐智能科技股份有限公司彭奕博获国家专利权
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龙图腾网恭喜青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利一种可旋转和微调的真空托盘升降装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222821635U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421832099.7，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种可旋转和微调的真空托盘升降装置是由彭奕博;张昊;伊明辉;贾立松;李英万设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可旋转和微调的真空托盘升降装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种可旋转和微调的真空托盘升降装置，涉及镀膜真空设备技术领域；该装置包括：中心杆，中心杆的顶部延伸至真空腔内；升降支撑件，安装在真空腔的外部；升降机构，设置在升降支撑件上；微调机构，其包括微调支撑件和安装在微调支撑件上的微调组件，微调组件与中心杆连接，用于调整中心杆的位置；升降机构与微调支撑件连接，用于带动微调支撑件上下移动进而带动中心杆上下移动；旋转机构，与中心杆连接，用于驱动所述中心杆旋转。本实用新型可以为晶圆提供在真空腔内多维度，多方向的运动选择，适用于多种工艺环境要求；可以实现上下升降运动，也可以提供晶圆旋转功能；提高了不同工艺的制作效率和膜层均匀度。
本实用新型一种可旋转和微调的真空托盘升降装置在权利要求书中公布了：1.一种可旋转和微调的真空托盘升降装置，其特征在于，包括：中心杆3，所述中心杆3的顶部延伸至真空腔1内；升降支撑件4，安装在真空腔1的外部；升降机构5，设置在所述升降支撑件4上；微调机构，其包括微调支撑件7和安装在所述微调支撑件7上的微调组件，所述微调组件与所述中心杆3连接，用于调整中心杆3的位置；所述升降机构5与所述微调支撑件7连接，用于带动所述微调支撑件7上下移动进而带动所述中心杆3上下移动；旋转机构，与所述中心杆3连接，用于驱动所述中心杆3旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人青岛思锐智能科技股份有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市中国(山东)自由贸易试验区青岛片区牧马山路11号3#楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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