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龙图腾网获悉丰豹智能科技(上海)有限公司申请的专利一种能快速均匀响应压力变化的压力膜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118721019B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411023402.3，技术领域涉及：B24B37/34；该发明授权一种能快速均匀响应压力变化的压力膜是由叶文君;王永洁;林栋利;夏雁宾;张旺设计研发完成，并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种能快速均匀响应压力变化的压力膜在说明书摘要公布了：本发明公开了一种能快速均匀响应压力变化的压力膜，所述压力膜为圆形，所述压力膜包括圆底部、竖直部、延伸部、密封边，所述圆底部外边缘沿周向设有竖直部，竖直部内侧与圆底部内侧围成气室腔，竖直部顶部周向设有延伸部，延伸部与竖直部垂直且与圆底部平行设置，延伸部呈环形覆盖于气室腔顶部，延伸部内侧周向设有与延伸部垂直且与竖直部平行的密封边，所述圆底部上表面设有凸点，圆底部下表面为平面。本发明采用上述一种能快速均匀响应压力变化的压力膜，通过改变其结构，从而有效的引导气体覆盖到压力膜的各个区域，让压力膜快速并均匀响应气压压力的变化，减少压力不均匀带来的影响，保证研磨晶圆质量的一致性，进一步提升企业经营效益。

本发明授权一种能快速均匀响应压力变化的压力膜在权利要求书中公布了：1.一种能快速均匀响应压力变化的压力膜，其特征在于：所述压力膜为圆形，所述压力膜包括圆底部、竖直部、延伸部、密封边，所述圆底部外边缘沿周向设有竖直部，所述竖直部沿圆底部周向围成一圈，竖直部内侧与圆底部内侧围成气室腔，竖直部顶部周向设有延伸部，延伸部与竖直部垂直且与圆底部平行设置，延伸部呈环形覆盖于气室腔顶部，延伸部内侧周向设有与延伸部垂直且与竖直部平行的密封边，所述圆底部上表面设有凸点，圆底部下表面为平面；所述竖直部与圆底部的连接为一体成型，竖直部与延伸部的连接也为一体成型，竖直部分别于圆底部和延伸部的连接处均为倒圆角设置；所述凸点设有多个，多个凸点均匀分布于圆底部上表面；所述凸点成环形阵列沿圆底部上表面内径均匀分布，凸点环形阵列之间的间距与凸点的直径相同，圆底部最外侧的凸点环形阵列距圆底部内径边缘1mm处设置；所述凸点为半球形，环形阵列中相邻凸点之间的间距与凸点的直径相同。

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