深圳市科纳能薄膜科技有限公司王策获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市科纳能薄膜科技有限公司申请的专利气体均布结构及化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222821642U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421786360.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型气体均布结构及化学气相沉积设备是由王策;萧生刚设计研发完成，并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体均布结构及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种气体均布结构及化学气相沉积设备，涉及材料制备技术领域。其中，该气体均布结构包括腔室和若干支管体，腔室的一侧设有抽气口，抽气口用于与抽气装置连接；若干支管体均匀分布于腔室内，支管体的一端用于与外部供气设备连接；支管体朝向抽气口一侧设有若干第一出气孔，支管体背离抽气口的一侧设有第二出气孔，第一出气孔的数量大于第二出气孔的数量。本申请提供的技术方案通过使第一出气孔的数量大于第二出气孔的数量，进而使支管体朝向抽气口的一侧的出气量大于相对侧的出气量，可以改善由于单侧抽气而导致气体分布均匀性较差的情况，提高气体在腔室内分布的均匀性。
本实用新型气体均布结构及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种气体均布结构，其特征在于，包括：腔室，所述腔室的一侧设有抽气口；所述抽气口用于与抽气装置连接；若干支管体，若干所述支管体均匀分布于所述腔室内，所述支管体的一端用于与外部供气设备连接；所述支管体朝向所述抽气口一侧设有若干第一出气孔，所述支管体背离所述抽气口的一侧设有第二出气孔，所述第一出气孔的数量大于所述第二出气孔的数量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市科纳能薄膜科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市南山区南山街道月亮湾大道2078号兆龙大楼第六层602号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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