恭喜三星显示有限公司赵允锺获国家专利权
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龙图腾网恭喜三星显示有限公司申请的专利显示装置及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110858596B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910774259.4,技术领域涉及:H10K59/12;该发明授权显示装置及其制造方法是由赵允锺;权世明;朴志容;成硕济设计研发完成,并于2019-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本显示装置及其制造方法在说明书摘要公布了:提供了一种显示装置及其制造方法。该显示装置包括:第一有源图案,包括硅半导体;第一绝缘层,覆盖第一有源图案;第一栅电极,设置在第一绝缘层上;第二绝缘层,覆盖第一栅电极;栅极布线图案,设置在第二绝缘层上并且包括下层和上层,下层包括钛或钛合金,上层包括钼或钼合金;第三绝缘层,覆盖栅极布线图案;以及第二有源图案,设置在第三绝缘层上并且包括氧化物半导体。
本发明授权显示装置及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种显示装置,所述显示装置包括:第一有源图案,包括硅半导体;第一绝缘层,覆盖所述第一有源图案;第一栅电极,设置在所述第一绝缘层上;第二绝缘层,覆盖所述第一栅电极;栅极布线图案,设置在所述第二绝缘层上并且包括第一下层和第一上层,所述第一下层包括钛或钛合金,所述第一上层包括钼或钼合金;第三绝缘层,覆盖所述栅极布线图案;以及第二有源图案,设置在所述第三绝缘层上并且包括氧化物半导体,其中,所述第一上层是通过使用包括氟的第一蚀刻气体而蚀刻形成的,并且其中,所述第一下层是通过使用不包括氟的第二蚀刻气体而蚀刻形成的。
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