滁州亿晶光电科技有限公司王泽鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉滁州亿晶光电科技有限公司申请的专利一种监控进舟位置是否异常装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222851387U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421449715.0,技术领域涉及:H01L21/66;该实用新型一种监控进舟位置是否异常装置是由王泽鑫;吴宇;徐明靖设计研发完成,并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种监控进舟位置是否异常装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开的属于石英舟输送技术领域,具体为一种监控进舟位置是否异常装置,包括机架板,机架板呈倒“L”状,且其顶部安装有至少两条平行的滑轨,机架板的左侧设置有控制盒,控制盒右侧壁通过多节电动推杆设置有推板;滑轨上滑动放置有石英舟,多节电动推杆带动推板推动石英舟超扩散炉所在位置移动。该实用新型,在石英舟输送的过程中,当石英舟倾斜后,推动一侧的侧夹板,使得限位弹簧压缩,滑杆随之在套筒内滑动,通过限位弹簧的弹力,利于石英舟摆正,而当石英舟倾斜幅度较大时,滑杆滑动幅度较大,端部触碰到触碰开关后,报警器会发出警报,从而提醒用户,石英舟倾斜幅度较大,其内的硅片可能发生偏移和倾倒。
本实用新型一种监控进舟位置是否异常装置在权利要求书中公布了:1.一种监控进舟位置是否异常装置,其特征在于,包括:机架板(100),所述机架板(100)呈倒“L”状,且其顶部安装有至少两条平行的滑轨(110),所述机架板(100)的左侧设置有控制盒(120),所述控制盒(120)右侧壁通过多节电动推杆(130)设置有推板(140);石英舟(200),所述滑轨(110)上滑动放置有石英舟(200),所述多节电动推杆(130)带动推板(140)推动石英舟(200)超扩散炉所在位置移动;花键杆(300),所述机架板(100)上位于滑轨(110)的两侧设置有平行的花键杆(300),所述花键杆(300)共设置有两条且转动设置在机架板(100)和控制盒(120)的侧壁之间,每根所述花键杆(300)的杆身上滑动设置有横向的花键套(310),所述花键套(310)的顶部设置有限位弹簧(320),所述限位弹簧(320)的另一端铰接设置有用于夹持石英舟(200)侧壁的侧夹板(330);传动杆(400),所述控制盒(120)的内部设置有安装腔,所述安装腔内部上下前后交错转动设置有传动杆(400),两根所述传动杆(400)分别设置有相互啮合的齿轮(410),每根所述花键套(310)的左端延伸转动贯穿控制盒(120)的内腔且端部设置有第一蜗轮(420),两根所述传动杆(400)的杆身上分别设置有啮合第一蜗轮(420)的第一蜗杆(430),所述第一蜗杆(430)的导程角小于第一蜗轮(420)啮合轮齿间的当量摩擦角。
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