扬州鹏飞能源科技有限公司何其金获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州鹏飞能源科技有限公司申请的专利一种具有连片检测功能的单晶硅片插片装置以及插片方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118824914B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410812099.9,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种具有连片检测功能的单晶硅片插片装置以及插片方法是由何其金;田晓军;何其亮;徐小萍;于文敏;王海峰;赵秋设计研发完成,并于2024-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有连片检测功能的单晶硅片插片装置以及插片方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种具有连片检测功能的单晶硅片插片装置,包括控制单元、报警单元、供料槽、分片单元、输送单元以及接收单元,分片单元用于将供料槽处的硅片一片一片地分片至所述输送单元处;接收单元包括放置架、硅片花篮以及升降驱动单元,硅片花篮能够使得硅片呈一列插入硅片花篮内;输送单元用于将输送单元处的硅片输送至硅片花篮内。本申请的单晶硅片插片装置,能够很好地实现对单晶硅片的分片、输送和插片,提高了生产效率和产品质量。并且能够很好地实现对单晶硅片是否连片两个硅片叠加在一起输送的检测,从而避免连片造成的不利后果,并且检测过程中输送单元正常输送,在不存在连片的情况下,不影响插片的效率。
本发明授权一种具有连片检测功能的单晶硅片插片装置以及插片方法在权利要求书中公布了:1.一种具有连片检测功能的单晶硅片插片装置,其特征在于,包括控制单元、报警单元、供料槽、安装于供料槽处的分片单元、用于输送硅片的输送单元以及用于接收硅片的接收单元,所述分片单元用于将供料槽处的硅片一片一片地分片至所述输送单元处;所述接收单元包括放置架、安装于放置架处的硅片花篮以及用于驱动放置架升降的升降驱动单元,所述硅片花篮能够使得硅片呈一列插入硅片花篮内;所述输送单元用于将输送单元处的硅片输送至所述硅片花篮内;所述输送单元包括两个侧板、多个输送转轴以及用于驱动多个输送转轴同步转动的转动驱动单元,相邻的两个输送转轴之间安装有两个输送带,每个输送转轴处具有两个用于安装所述输送带的转动辊;两个侧板之间安装有第一横板和第二横板,所述第一横板处安装有第一安装板,第一安装板处安装有第一喷液单元,所述第二横板处安装有第二安装板,第二安装板处安装有第二喷液单元;所述输送单元处具有两个检测位,每个检测位具有一个采集机构和两个升降机构,所述采集机构包括采集安装架以及安装于采集安装架处的图像采集单元;所述升降机构包括与侧板固定连接的倒U形架、安装于倒U形架处的升降电机、由升降电机驱动的丝杆、与丝杆配合的升降板,所述升降板的两侧具有竖直滑轨,所述侧板处具有安装凹槽,所述安装凹槽处具有与竖直滑轨配合的竖直滑槽,所述安装凹槽处安装有与丝杆配合的丝杆轴承,两个升降机构的升降板之间安装有转动转轴,所述转动转轴处安装有驱动辊,其中一个升降板处安装有驱动所述驱动辊转动的驱动辊电机;所述驱动辊的圆周面处具有多个条形橡胶凸起,所述条形橡胶凸起的截面呈半圆形;所述输送单元处安装有第一接近开关安装架和第二接近开关安装架,所述第一接近开关安装架处安装有第一接近开关,所述第二接近开关安装架处安装有第二接近开关;两个检测位分别为第一检测位和第二检测位,第一检测位相对于第二检测位更靠近所述供料槽;所述第一喷液单元用于对第一检测位处的硅片喷液,所述第二喷液单元用于对第二检测位处的硅片喷液;所述第一接近开关安装架位于供料槽和第一检测位之间,所述第二接近开关安装架位于第二喷液单元和接收单元之间;所述第一检测位处的驱动辊为第一驱动辊,第一驱动辊的圆周面处具有多个第一条形橡胶凸起,多个第一条形橡胶凸起的半径呈等差数列依次减小;所述第二检测位处的驱动辊为第二驱动辊,第二驱动辊的圆周面处具有多个第二条形橡胶凸起,第一驱动辊的直径等于第二驱动辊的直径,多个第二条形橡胶凸起的半径相等,且与多个第一条形橡胶凸起中半径最大的那个第一条形橡胶凸起的半径相等;多个第一条形橡胶凸起呈弧形等间距分布,第一驱动辊的圆周面中,至少半圈连续的圆周面没有所述第一条形橡胶凸起;多个第二条形橡胶凸起呈弧形等间距分布,第二驱动辊的圆周面中,至少半圈连续的圆周面没有所述第二条形橡胶凸起。
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