呈睿国际股份有限公司;睿丰科研有限公司洪再和获国家专利权
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龙图腾网获悉呈睿国际股份有限公司;睿丰科研有限公司申请的专利晶舟清洁设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222842719U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421434326.0，技术领域涉及：B08B7/00；该实用新型晶舟清洁设备是由洪再和;庄定富;卢扬颖;朱柏勳;林泳乐设计研发完成，并于2024-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶舟清洁设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种晶舟清洁设备，包含一可供容置一晶舟的清洁腔体、一与该清洁腔体连通的远端电浆产生器及负压抽取器；于该远端电浆产生器及负压抽取器启动时，该远端电浆产生器所产生清洁用的电浆抽入该清洁腔体内，干式移除该晶舟的表面于另一半导体制程设备的炉管内所沉积的薄膜，清洁工时有效缩短至数小时内，另可免除载运的时间及成本，减少酸洗工安意外。
本实用新型晶舟清洁设备在权利要求书中公布了：1.一种晶舟清洁设备，其特征在于，包括：一清洁腔体；一远端电浆产生器，与该清洁腔体连通，对该清洁腔体内提供一清洁用电浆；一负压抽取器，与该清洁腔体连通，令该清洁腔体内呈负压环境；以及一晶舟，供承载多块太阳能电池的硅基板于其中，设置于该清洁腔体内。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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