江苏应材微机电科技有限公司李增福获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏应材微机电科技有限公司申请的专利一种适用于四英寸晶圆的传送手臂获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222851407U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421437329.X,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种适用于四英寸晶圆的传送手臂是由李增福;孟令毅设计研发完成,并于2024-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于四英寸晶圆的传送手臂在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种适用于四英寸晶圆的传送手臂,涉及晶圆相关设备技术领域,包括支撑臂和中心块,所述支撑臂的一端顶部固定安装有转动柱,所述中心块的内部开设有转动槽,所述转动柱与转动槽适配,所述中心块的两侧表面均开设有两个插槽,四个所述插槽中均插入有插销柱,两侧两根所述插销柱上分别固定安装有第一托臂和第二托臂,所述支撑臂上嵌入安装有两个定位机构。本实用新型所述的一种适用于四英寸晶圆的传送手臂,通过选择合适的第一托臂或第二托臂,然后转动中心块,使得滚珠与对应的第一托槽或第二托槽连接,整体支撑连接平稳,八英寸晶圆与四英寸晶圆调节转换便捷快速,操作简单。
本实用新型一种适用于四英寸晶圆的传送手臂在权利要求书中公布了:1.一种适用于四英寸晶圆的传送手臂,包括支撑臂1和中心块10,其特征在于:所述支撑臂1的一端顶部固定安装有转动柱2,所述中心块10的内部开设有转动槽13,所述转动柱2与转动槽13适配,所述中心块10的两侧表面均开设有两个插槽,四个所述插槽中均插入有插销柱14,两侧两根所述插销柱14上分别固定安装有第一托臂4和第二托臂5,所述支撑臂1上嵌入安装有两个定位机构3,所述第一托臂4的底面开设有两个第一托槽11,所述第二托臂5的底部开设有两个第二托槽12。
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