日月新半导体(昆山)有限公司薛根进获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(昆山)有限公司申请的专利集成电路匀胶机自动清洁装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222842432U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421415863.0，技术领域涉及：B05C11/00；该实用新型集成电路匀胶机自动清洁装置是由薛根进设计研发完成，并于2024-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本集成电路匀胶机自动清洁装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及匀胶机自动清洁技术领域的集成电路匀胶机自动清洁装置，包括装置本体，所述装置本体上设置清洗注水口，所述装置本体上设置有有多个出水小孔，所述清洗注水口通过管道与出水小孔连接，所述出水小孔的底部设置有晶圆载台，所述晶圆载台底部设置有清洗手臂。本实用新型通过改进CUP内结构，利用注水口和均匀分布的出水小孔，实现自动清洗，减少内壁胶体残留，设定程序后，旋涂完成后自动启动清洗，有效防止排液管路堵塞，更换新型挂具后，可实现以下效益：显著减少内壁胶体残留，避免残胶对设备内部造成影响；防止因残胶未及时处理而导致的管路堵塞；节约工时，减少工程师拆卸CUP进行清洗的次数。
本实用新型集成电路匀胶机自动清洁装置在权利要求书中公布了：1.集成电路匀胶机自动清洁装置，包括装置本体1，其特征在于：所述装置本体1上设置清洗注水口2，所述装置本体1上设置有有多个出水小孔3，所述清洗注水口2通过管道与出水小孔3连接，所述出水小孔3的底部设置有晶圆载台4，所述晶圆载台4底部设置有清洗手臂5。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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